特許
J-GLOBAL ID：201603005277176214
加振装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
三好 秀和
, 岩▲崎▼ 幸邦
, 伊藤 正和
, 高橋 俊一
, 高松 俊雄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-000140
公開番号（公開出願番号）：特開2013-140067
特許番号：特許第5880047号
出願日： 2012年01月04日
公開日（公表日）： 2013年07月18日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 被加振体を正逆方向に加振させる加振装置において、
両端側にサイド開口部をそれぞれ有し、中央側に前記正逆方向へ延びたセンタ開口部を有した中空状の支持ブロックと、
前記支持ブロックの一端側の前記サイド開口部に設けられた筒状の第1エンド部材と、
前記支持ブロックの他端側の前記サイド開口部に設けられた筒状の第2エンド部材と、
前記支持ブロック内に前記正逆方向へ往復移動可能に設けられたスライドと、
前記支持ブロック内に設けられ、前記スライドを前記正逆方向へ往復移動可能に支持する静圧案内ユニット又はメタル軸受と、
前記スライドに一体形成又は一体的に設けられ、少なくとも前記支持ブロックの前記センタ開口部内に位置するか又は前記支持ブロックの前記センタ開口部から突出しており、前記被加振体を装備するテーブルと、
前記スライドの一端面に一体形成され、前記正逆方向に平行であって、前記第1エンド部材の内側に液密又は気密に挿通した第1作動軸と、
前記スライドの他端面に前記第1作動軸と同心状に一体形成され、前記正逆方向に平行であって、前記第2エンド部材の内側に液密又は気密に挿通した第2作動軸と、を具備し、
前記支持ブロック内における前記スライドの一端面と前記第1エンド部材との間に、前記スライドの往動時に作動流体を供給するための第1流体室が区画形成され、前記支持ブロック内における前記スライドの他端面と前記第2エンド部材との間に、前記スライドの復動時に作動流体を供給するための第2流体室が区画形成されている加振装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
出願人引用 (2件)
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特開昭61-028837
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特開昭59-102135
審査官引用 (2件)
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特開昭61-028837
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特開昭59-102135
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