特許
J-GLOBAL ID:201603005511785220
水反応性Al合金溶射膜の製造方法、及び成膜室用構成部材
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
栗原 浩之
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2014-181684
公開番号(公開出願番号):特開2016-056396
出願日: 2014年09月05日
公開日(公表日): 2016年04月21日
要約:
【課題】水分の存在する雰囲気中で反応して溶解し得るAl-In系又はAl-Bi系からなる溶射用水反応性Al複合材料から水反応性Al合金溶射膜を製造する方法、及びこの得られたAl合金溶射膜で覆われた成膜室用構成部材を提供すること。【解決手段】水と反応して基材から剥離する水反応性Al合金溶射膜の製造方法であって、Al合金を形成する材料を平均粒径50μm以上150μm以下の粉末とし、この粉末を前記基材の表面に対して粉末フレーム溶射して急冷凝固させることにより成膜することからなる。得られた水反応性Al合金溶射膜で成膜室用構成部材を覆う。【選択図】図1
請求項(抜粋):
水と反応して基材から剥離する水反応性Al合金溶射膜の製造方法であって、Al合金を形成する材料を平均粒径50μm以上150μm以下の粉末とし、この粉末を前記基材の表面に対して粉末フレーム溶射して急冷凝固させることにより成膜することを特徴とする水反応性Al合金溶射膜の製造方法。
IPC (6件):
C23C 4/06
, C23C 14/00
, C23C 16/44
, C23C 4/12
, B22F 1/00
, B22F 9/08
FI (6件):
C23C4/06
, C23C14/00 B
, C23C16/44 J
, C23C4/12
, B22F1/00 N
, B22F9/08 S
Fターム (32件):
4K017AA04
, 4K017BA01
, 4K017BB03
, 4K017BB09
, 4K017BB12
, 4K017BB16
, 4K017BB18
, 4K017CA06
, 4K017DA09
, 4K017EK08
, 4K018AA15
, 4K018AA16
, 4K018BA03
, 4K018BA08
, 4K018BA20
, 4K018BB04
, 4K018BD09
, 4K018HA10
, 4K018KA70
, 4K029BA02
, 4K029BA17
, 4K029CA05
, 4K029DA10
, 4K029HA02
, 4K029JA01
, 4K030KA12
, 4K030KA47
, 4K031AA04
, 4K031AB07
, 4K031CB18
, 4K031CB37
, 4K031DA01
引用特許:
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