特許
J-GLOBAL ID：201603005515004907
鏡面冷却式露点計
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
山川 政樹
, 山川 茂樹
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-108924
公開番号（公開出願番号）：特開2013-234961
特許番号：特許第5890246号
出願日： 2012年05月10日
公開日（公表日）： 2013年11月21日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 被測定気体に晒される鏡面と、
この鏡面を冷却する熱電冷却素子と、
前記鏡面の温度を検出する温度センサと、
前記鏡面に対して光を照射する投光手段と、
前記投光手段から前記鏡面に対して照射された光の反射光を受光する受光手段と、
前記受光手段が受光する反射光の光量に基づいて前記熱電冷却素子へ供給する電流を制御する制御手段とを備え、
前記制御手段は、
前記受光手段が受光する反射光の光量に基づいて前記熱電冷却素子へ供給する電流を前記鏡面に生じる結露もしくは結霜の増減がなくなる平衡状態になるように制御し、その平衡状態において前記温度センサが検出する前記鏡面の温度を露点温度として計測する露点温度計測制御手段と、
前記露点温度計測制御手段による前記熱電冷却素子への供給電流の制御の中断後、前記受光手段が受光する反射光の光量に基づいて、前記鏡面の状態の正常/異常を判断する鏡面状態判断手段と、
前記鏡面に付着しているであろう凝縮物質を蒸発又は昇華させて除去させるべく、前記鏡面の温度を上昇させるように前記熱電冷却素子へ供給する電流を制御するクリーニング制御手段とを備え、
前記凝縮物質は、
通常は気体で前記被測定気体に含まれ、前記露点温度よりも高い低温で固体となり、前記鏡面を汚す汚染物質である
ことを特徴とする鏡面冷却式露点計。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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