特許
J-GLOBAL ID:201603005586016302

放射線検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): 杉谷 勉 ,  戸高 弘幸 ,  杉谷 知彦 ,  栗原 要
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-270250
公開番号(公開出願番号):特開2014-115216
特許番号:特許第6015404号
出願日: 2012年12月11日
公開日(公表日): 2014年06月26日
請求項(抜粋):
【請求項1】 検査物に放射線を照射する放射線源と、検査物を透過した放射線を検出して投影画像を取得する放射線検出器と、前記放射線源と放射線検出器の間に設けられて検査物を載置するステージとを備えた放射線検査装置において、 案内部に対して略直線方向に移動可能に保持された前記ステージと、 当該ステージに前記移動のための駆動力を伝達するためのステージ駆動部と、 前記案内部に対する前記ステージの傾きを表す回転変動量を算出する回転変動量算出部と、 前記回転変動量に基づいて、ステージ変動量を算出するステージ変動量算出部と、 前記ステージ変動量に基づいて、前記ステージの位置を補正してから再構成を行う画像再構成部と、 を備えていることを特徴とする放射線検査装置。
IPC (1件):
G01N 23/04 ( 200 6.01)
FI (1件):
G01N 23/04 320
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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