真空紫外吸収分光システム

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：山田卓二 , 田中光雄 , 中野晴夫 , 竹内三喜夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-117630
公開番号（公開出願番号）：特開2016-183972
出願日： 2016年06月14日
公開日（公表日）： 2016年10月20日
要約：

【課題】VUV(真空紫外域)において、固体、液体またはガス状のサンプルを測定する効率的な吸収分光システムを提供する。【解決手段】分光システムは、ガスクロマトグラフィ(GC)システムと併用して使用される非破壊的検出器として構成される。光源モジュール102と、フローセル104と、検出器モジュール106とを含む。フローセルを通過した光ビームは、セルの端部で他のVUV透明窓142を通過し、第2VUV光学系150によって分光計の入射アパーチャ152に集光される。アパーチャを通過した光は、グレーティング154によって回収、回折され、そして検出器156に集光され、そこでコンピュータ158によって記録される。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ガスクロマトグラフィ分析システムであって、分析対象である少なくとも1つのガス検体を供給するように構成されたガスクロマトグラフィカラムと、ガスクロマトグラフィカラムからの検体のフローを受け入れるように、ガスクロマトグラフィカラムと連結されたガスフローセルと、ガスフローセル内の検出空間であって、ガスクロマトグラフィカラムから供給される検体の体積とほぼ等しいか、またはそれより大きい体積を有する検出空間と、ガスフローセルと連結された光源と、ガスフローセルと連結された検出器とを備え、ガスフローセルは、検体の性質を検出するために、光源からの光を、検出空間を通って検出器へ通すように構成されている、システム。

IPC (2件)：

G01N 21/33 , G01N 21/05

FI (2件)：

G01N21/33 , G01N21/05

Fターム (34件)：

2G057AA01 , 2G057AB01 , 2G057AB03 , 2G057AB06 , 2G057AC01 , 2G057AC03 , 2G057AC05 , 2G057BA05 , 2G057BB09 , 2G057DC06 , 2G057EA01 , 2G057EA07 , 2G057JA03 , 2G059AA01 , 2G059AA05 , 2G059BB01 , 2G059BB04 , 2G059BB08 , 2G059CC13 , 2G059CC14 , 2G059DD12 , 2G059EE01 , 2G059EE12 , 2G059HH02 , 2G059HH03 , 2G059HH04 , 2G059JJ05 , 2G059JJ13 , 2G059JJ14 , 2G059JJ23 , 2G059KK04 , 2G059MM01 , 2G059MM05 , 2G059MM10

引用特許：

審査官引用 (11件)

特開昭52-152288
特開昭54-028683
特開昭57-113353

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