特許
J-GLOBAL ID：201603005810445680
液滴ジェネレータ、EUV放射源、リソグラフィ装置、液滴を生成する方法及びデバイス製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
稲葉 良幸
, 大貫 敏史
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-544398
公開番号（公開出願番号）：特表2016-504719
出願日： 2013年10月30日
公開日（公表日）： 2016年02月12日
要約：
EUV放射源用の液滴ジェネレータは、使用中、溶融材料が流れる細管と、細管内部の圧力を調整するように構成されたアクチュエータと、アクチュエータを駆動周波数で駆動するように構成されたコントローラと、を備え、液滴ジェネレータは、使用中、駆動周波数が細管内の溶融材料の主共振周波数と等しくなる又はほぼ等しくなるように構成される。【選択図】図7
請求項（抜粋）：
使用中、溶融材料が流れる細管と、
前記細管の内部の圧力を調整するように構成されたアクチュエータと、
前記アクチュエータを駆動周波数で駆動するように構成されたコントローラと、を備え、
前記細管はヘルムホルツ共振器を備える、EUV放射源用の液滴ジェネレータ。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H05G2/00 K
, G03F7/20 521
, G03F7/20 503
2H197AA09
, 2H197CA10
, 2H197DB16
, 2H197GA01
, 2H197GA05
, 2H197GA24
, 2H197HA03
, 2H197HA04
, 2H197HA05
, 2H197JA09
, 4C092AA06
, 4C092AA15
, 4C092AB10
, 4C092AC09
, 4C092BD05
