半導体膜、半導体装置、並びに表示装置、モジュール及び電子機器

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-033086
公開番号（公開出願番号）：特開2016-066776
出願日： 2015年02月23日
公開日（公表日）： 2016年04月28日
要約：

【課題】半導体装置に良好な電気特性を付与する。【解決手段】プローブ径の半値幅が1nmである電子線を用いて、酸化物半導体膜の被形成面に対して膜の位置と電子線の位置とを相対的に移動させながら電子線を照射することにより、複数の電子回折パターンを観測し、複数の電子回折パターンは、互いに異なる箇所で観測された50個以上の電子回折パターンを有し、50個以上の電子回折パターンのうち、第1の電子回折パターンを有する割合と、第2の電子回折パターンを有する割合の和が、100%であり、第1の電子回折パターンを有する割合は50%以上であり、第1の電子回折パターンは、対称性を有さない観測点、または円を描くように配置された複数の観測点を有し、第2の電子回折パターンは、六角形の頂点に位置する観測点を有する酸化物半導体膜である。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

インジウムと、元素Mと、亜鉛と、を有する酸化物半導体膜であって、前記元素Mは、アルミニウム、ガリウム、イットリウム、または、スズの少なくとも一つ選ばれた元素であり、前記インジウム、前記元素M及び前記亜鉛の原子数の比は、前記インジウム:前記元素M :前記亜鉛=x:y:zを満たし、前記x、前記y及び前記zは前記インジウム、前記元素M及び前記亜鉛の3つの元素を頂点とした平衡状態図において、第1の座標(x:y:z=8:14:7)と、第2の座標(x:y:z=2:4:3)と、第3の座標(x:y:z=2:5:7)と、第4の座標(x:y:z=51:149:300)と、第5の座標(x:y:z=46:288:833)と、第6の座標(x:y:z=0:2:11)と、第7の座標(x:y:z=0:0:1)と、第8の座標(x:y:z=1:0:0)と、前記第1の座標とを順番に線分で結んだ範囲内の原子数の比を有し、前記範囲は、前記第1の座標乃至前記第6の座標を含み、前記第7の座標及び前記第8の座標を含まず、プローブ径の半値幅が1nmである電子線を用いて、前記酸化物半導体膜の被形成面に対して、前記酸化物半導体膜の位置と前記電子線の位置とを相対的に移動させながら電子線を照射することにより、複数の電子回折パターンを観測した場合において、前記複数の電子回折パターンは、互いに異なる箇所で観測された50個以上の電子回折パターンを有し、前記50個以上の電子回折パターンのうち、第1の電子回折パターンを有する割合と、第2の電子回折パターンを有する割合の和が、100%であり、前記第1の電子回折パターンは、対称性を有さない観測点、または円を描くように配置された複数の観測点を有し、前記第2の電子回折パターンは、六角形の頂点に位置する観測点を有することを特徴とする酸化物半導体膜。

IPC (6件)：

H01L 21/66 , H01L 21/823 , H01L 27/088 , H01L 29/786 , H01L 21/336 , C23C 14/08

FI (5件)：

H01L21/66 N , H01L27/08 102E , H01L29/78 618B , H01L29/78 618Z , C23C14/08 K

Fターム (76件)：

4K029AA08 , 4K029AA24 , 4K029BA50 , 4K029BB08 , 4K029BD01 , 4K029CA06 , 4K029DC05 , 4K029DC09 , 4K029DC34 , 4K029GA01 , 4M106AA10 , 4M106BA02 , 4M106CA22 , 4M106CB17 , 5F048BB06 , 5F048BB07 , 5F048BC06 , 5F048BF15 , 5F048BF16 , 5F048CB01 , 5F110AA06 , 5F110AA07 , 5F110AA08 , 5F110CC01 , 5F110CC07 , 5F110DD12 , 5F110DD21 , 5F110EE01 , 5F110EE02 , 5F110EE03 , 5F110EE04 , 5F110EE05 , 5F110EE06 , 5F110EE07 , 5F110EE08 , 5F110EE09 , 5F110EE11 , 5F110EE14 , 5F110EE15 , 5F110EE30 , 5F110FF01 , 5F110FF02 , 5F110FF03 , 5F110FF04 , 5F110FF09 , 5F110GG01 , 5F110GG06 , 5F110GG22 , 5F110GG25 , 5F110GG28 , 5F110GG29 , 5F110GG32 , 5F110GG34 , 5F110GG35 , 5F110GG58 , 5F110HK01 , 5F110HK02 , 5F110HK03 , 5F110HK04 , 5F110HK06 , 5F110HK21 , 5F110HK22 , 5F110HM02 , 5F110HM05 , 5F110HM17 , 5F110NN02 , 5F110NN03 , 5F110NN05 , 5F110NN27 , 5F110NN28 , 5F110NN71 , 5F110NN72 , 5F110NN74 , 5F110NN77 , 5F110PP35 , 5F110QQ19

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