特許

J-GLOBAL ID：201603006036610831

圧電セラミックス、圧電素子、それらを用いた装置および機器、ならびに圧電セラミックスの製造方法

発明者： 清水 康志 ,  古田 達雄 ,  小山 信也 ,  田中 秀典 ,  大志万 香菜子 ,  久保田 純 ,  林 潤平
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (9件)： 岡部 讓 ,  臼井 伸一 ,  越智 隆夫 ,  高橋 誠一郎 ,  吉澤 弘司 ,  齋藤 正巳 ,  木村 克彦 ,  田中 尚文 ,  三村 治彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-002607
公開番号（公開出願番号）：特開2016-153359
出願日： 2016年01月08日
公開日（公表日）： 2016年08月25日
要約：

【課題】良好な圧電定数と機械的品質係数を両立した非鉛非アルカリの圧電セラミックスの提供。【解決手段】式(1)(Ba1-xCax)a(Ti1-yZry)O3(1)(0.09≦x≦0.30、0;025≦y≦0.085;0.986≦a≦1.020)である金属酸化物と該金属酸化物100重量部に対し0.04重量部〜0.36重量部のMnを含む圧電セラミックスであって、ペロブスカイト型構造の複数の第一結晶粒子1501と該第一結晶粒子間粒界1502に存在し該第一結晶粒子1501と異なる結晶構造の複数の第二結晶粒子1504からなり、該第二結晶粒子1504が式(2)(Ba1-vCav)b(Ti1-wZrw)cOd(2)(0≦v≦1;0≦w≦1;1≦b≦6;2≦c≦19;b+2c-1≦d≦b+2c、b<c;ただし、b〜dは整数)で表わされる少なくとも一つの金属酸化物を主成分とする圧電セラミックス。【選択図】図15

請求項（抜粋）：

下記一般式(1): (Ba1-xCax)a(Ti1-yZry)O3 (1) (式中、0.09≦x≦0.30、0.025≦y≦0.085、0.986≦a≦1.020である。)で表わされる金属酸化物と該金属酸化物100重量部に対して金属換算で0.04重量部以上0.36重量部以下のMnとを含有する圧電セラミックスであって、前記圧電セラミックスは、ペロブスカイト型構造を有する複数の第一の結晶粒子と該第一の結晶粒子間の粒界に存在し該第一の結晶粒子とは異なる結晶構造を有する複数の第二の結晶粒子とからなり、該第二の結晶粒子が下記一般式(2): (Ba1-vCav)b(Ti1-wZrw)cOd (2) (式中、0≦v≦1、0≦w≦1、1≦b≦6、2≦c≦19、b+2c-1≦d≦b+2c、b<cである。ただし、b、cおよびdは整数である。)で表わされる少なくとも一つの金属酸化物を主成分とすることを特徴とする圧電セラミックス。

IPC (13件)：

C04B 35/462 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/083 ,  H01L 41/047 ,  H01L 41/297 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/107 ,  H01L 41/43 ,  B06B 1/06 ,  H02N 2/00 ,  G02B 7/04 ,  G02B 7/08 ,  G03B 17/02

FI (14件)：

C04B35/46 J ,  H01L41/187 ,  H01L41/083 ,  H01L41/047 ,  H01L41/297 ,  H01L41/09 ,  H01L41/107 ,  H01L41/43 ,  B06B1/06 Z ,  H02N2/00 B ,  H02N2/00 C ,  G02B7/04 E ,  G02B7/08 B ,  G03B17/02

Fターム (34件)：

2C057AG44 ,  2C057AP14 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14 ,  2H044BE05 ,  2H044BE07 ,  2H044DB00 ,  2H044DB04 ,  2H100EE06 ,  4G031AA04 ,  4G031AA06 ,  4G031AA11 ,  4G031AA12 ,  4G031AA19 ,  4G031AA35 ,  4G031BA10 ,  4G031CA05 ,  4G031GA05 ,  4G031GA11 ,  5D107AA09 ,  5D107AA10 ,  5D107AA11 ,  5D107BB05 ,  5D107CC03 ,  5H681AA06 ,  5H681AA12 ,  5H681BB02 ,  5H681BB18 ,  5H681BC01 ,  5H681BC04 ,  5H681DD24 ,  5H681DD37 ,  5H681GG01 ,  5H681GG43

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 圧電素子、積層圧電素子、液体吐出ヘッド、液体吐出装置、超音波モータ、光学機器および電子機器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2012-142186   出願人：キヤノン株式会社
• 圧電材料、圧電材料の製造方法、圧電アクチュエータ、圧電アクチュエータの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2013-048347   出願人：株式会社リコー, 国立大学法人名古屋大学
• 圧電材料、圧電素子、および電子機器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2013-051618   出願人：キヤノン株式会社
• 圧電セラミックス、その製造方法、圧電素子、液体吐出ヘッド、超音波モータおよび塵埃除去装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2010-285742   出願人：キヤノン株式会社

審査官引用 (4件)

• 圧電材料、圧電素子、および電子機器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2013-051618   出願人：キヤノン株式会社
• 圧電セラミックス、その製造方法、圧電素子、液体吐出ヘッド、超音波モータおよび塵埃除去装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2010-285742   出願人：キヤノン株式会社
• 圧電素子、積層圧電素子、液体吐出ヘッド、液体吐出装置、超音波モータ、光学機器および電子機器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2012-142186   出願人：キヤノン株式会社
• 圧電材料、圧電材料の製造方法、圧電アクチュエータ、圧電アクチュエータの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2013-048347   出願人：株式会社リコー, 国立大学法人名古屋大学