特許
J-GLOBAL ID：201603006047797640

圧電ポンプ、圧電ポンプの製造方法

発明者：
成田 幸輔

成田 幸輔 について


出願人/特許権者：
株式会社村田製作所

株式会社村田製作所 について


代理人 (1件)： 特許業務法人 楓国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-007679
公開番号（公開出願番号）：特開2013-147965
特許番号：特許第5974493号
出願日： 2012年01月18日
公開日（公表日）： 2013年08月01日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 導体パターンが形成された圧電体層を積層した圧電体で構成されている圧電素子であって、 前記導体パターンに導通する電極端子への電圧印加に応じて伸縮する中央部と、前記中央部より外側に位置し、前記電極端子への電圧印加に応じて前記中央部と逆位相で伸縮する周辺部と、前記周辺部より外側に位置する非駆動の外周部とを有し、前記電極端子が前記圧電体の一方の主面における前記外周部に設けられ、前記中央部および前記周辺部の伸縮により屈曲する圧電素子と、 前記圧電素子の前記電極端子側の主面に接合されているダイヤフラムと、 前記ダイヤフラムの前記圧電素子とは逆側の主面に接合されたポンプ筐体と、を備え、 前記ポンプ筐体には、配線が埋設されており、 前記ダイヤフラムには、前記電極端子に対応する領域が除去領域として除去されており、 前記圧電素子の前記電極端子は、前記ダイヤフラムの前記除去領域を介して前記ポンプ筐体の前記配線に接続されている、圧電ポンプ。
IPC (3件)：
F04B 43/04 ( 200 6.01) ,  H01L 41/083 ( 200 6.01) ,  H01L 41/187 ( 200 6.01)
FI (5件)：
F04B 43/04 B ,  H01L 41/08 S ,  H01L 41/08 Q ,  H01L 41/18 101 D ,  H01L 41/18 101 B
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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