特許
J-GLOBAL ID：201603006182705100
CVD被膜を有する工具
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (8件)：
青木 篤
, 石田 敬
, 古賀 哲次
, 出野 知
, 蛯谷 厚志
, 関根 宣夫
, 松田 淳浩
, 胡田 尚則
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-509387
公開番号（公開出願番号）：特表2016-522323
出願日： 2014年04月16日
公開日（公表日）： 2016年07月28日
要約：
本発明は、カーバイド、サーメット、セラミック、鋼、又は高速度鋼の基体と、それにCVD法で付着させた単層又は多層の摩耗保護被膜を備えていて、その摩耗保護被膜が、0.70≦x<1、0≦y<0.25、及び0.75≦z<1.15の化学量係数有する少なくとも1つのTi1-xAlxCyNz層を備える工具であって、前記Ti1-xAlxCyNz層が、1μm〜25μmの厚さであり、結晶学における{111}面と{200}面のX線回折ピークの強度の比が、I{111}/I{200}>1+h(ln h)2(ただしhは、“μm”単位で表わしたTi1-xAlxCyNz層の厚さである)で特徴づけられる結晶学的に好ましい方位を有することを特徴とする工具に関する。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
カーバイド、サーメット、セラミック、鋼、又は高速度鋼の基体と、それにCVD法で付着させた単層又は多層の摩耗保護被膜を備えていて、その摩耗保護被膜が、0.70≦x<1、0≦y<0.25、及び0.75≦z<1.15の化学量係数と、1μm〜25μmの範囲の厚さを有する少なくとも1つのTi1-xAlxCyNz層を備える工具を製造する方法であって、
前記Ti1-xAlxCyNz層を作製するため、
a)被覆されるべき基体を、実質的に筒形のCVD反応器の中に配置し、ここで、前記反応器は、被覆する基体に、処理ガスの導入流が前記反応器の長手方向軸に対して実質的に径方向に当たるように設計されており、
b)2種類の前駆ガス混合物(VG1)及び(VG2)を供給し、
ここで、第1の前駆ガス混合物(VG1)は、
0.005〜0.2体積%のTiCl4と、
0.025〜0.5体積%のAlCl3と、
キャリアガスとして、水素(H2)或いは水素と窒素の混合物(H2/N2) と、
を含んでおり、かつ
第2の前駆ガス混合物(VG2)は、
アンモニア(NH3)及びヒドラジン(N2H4)から選択される0.1〜3 .0体積%の少なくとも1種類のNドナーと、
キャリアガスとして、水素(H2)或いは水素と窒素の混合物(H2/N2) と、
を含んでおり、
前記第1の前駆ガス混合物(VG1)及び/又は前記第2の前駆ガス混合物(VG2)は、選択的に、アセトニトリル(CH3CN)、エタン(C6H6)、エテン(C2H4)、及びエチン(C2H2)、並びにこれらの混合物から選択されるCドナーを含んでおり、
前記前駆ガス混合物(VG1、VG2)中のNドナーとCドナーの全体積%の値は0.1〜3.0体積%の範囲であり、
c)前記2種類の前駆ガス混合物(VG1、VG2)を、反応区間に通過させる前は、分離した状態に維持し、前記反応器の長手方向軸に対して実質的に径方向に導入し、前記CVD反応器内の処理温度は600°C〜850°Cの範囲、かつ前記CVD反応装置内の処理圧力は0.2〜18kPaの範囲であり、
前記前駆ガス混合物(VG1、VG2)の体積ガス流(V’)の比V’(VG1)/V’(VG2)は、1.5未満である、
方法。
IPC (4件)：
C23C 16/36
, C23C 16/52
, B23B 27/14
, B23C 5/16
C23C16/36
, C23C16/52
, B23B27/14 A
, B23C5/16
3C046FF02
, 3C046FF03
, 3C046FF04
, 3C046FF05
, 3C046FF10
, 3C046FF13
, 3C046FF22
, 4K030AA03
, 4K030AA09
, 4K030AA13
, 4K030AA17
, 4K030AA18
, 4K030BA02
, 4K030BA18
, 4K030BA41
, 4K030BA43
, 4K030BB03
, 4K030BB12
, 4K030CA03
, 4K030EA03
, 4K030FA10
, 4K030JA01
, 4K030JA04
, 4K030JA05
, 4K030JA06
, 4K030JA09
, 4K030JA10
, 4K030KA05
, 4K030LA01
, 4K030LA22
