特許

J-GLOBAL ID：201603006257303976

電子顕微鏡およびそれを用いた試料の観察方法

発明者： 森 茂生 ,  中島 宏 ,  原田 研
出願人/特許権者： 公立大学法人大阪府立大学
代理人 (1件)： 特許業務法人深見特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-038149
公開番号（公開出願番号）：特開2016-162532
出願日： 2015年02月27日
公開日（公表日）： 2016年09月05日
要約：

【課題】透過型の汎用電子顕微鏡を用いて試料の結晶構造だけでなく磁気構造も観察する。【解決手段】対物レンズ系5は、対物レンズ51と対物ミニレンズ52とを含む。対物レンズ51は、対物レンズ51の励磁電流によって生じた磁場を試料4に印加可能に構成される。対物ミニレンズ52は、対物ミニレンズ52の励磁電流によって生じた磁場が試料4に印加されないように構成される。電子顕微鏡100は、電子線の進行方向に沿って対物レンズ51および対物ミニレンズ52よりも下流側に設けられた制限視野絞り7と、対物レンズ系5に含まれる各レンズの励磁電流を制御する制御装置120とをさらに備える。制御装置120は、試料4を通過した電子線による光源(クロスオーバー)Xの像が制限視野絞り7の位置に結像するように、対物レンズ51および対物ミニレンズ52の励磁電流を制御する。【選択図】図9

請求項（抜粋）：

電子線を発する光源と、 前記光源から発せられた電子線を試料に照射するための照射レンズ系と、 励磁電流に応じて磁場を生じさせ、前記試料を通過した電子線を、生じた磁場を用いて結像するための対物レンズ系とを備え、 前記対物レンズ系は、第1および第2の対物レンズを含み、 前記第1の対物レンズは、前記第1の対物レンズの励磁電流によって生じた磁場を前記試料に印加可能に構成され、 前記第2の対物レンズは、前記第2の対物レンズの励磁電流によって生じた磁場が前記試料に印加されないように構成され、 前記電子線の進行方向に沿って前記第1および第2の対物レンズよりも下流側に設けられた第1の絞りと、 前記第1の絞りを通過した電子線を観察面に結像するための結像レンズ系と、 前記対物レンズ系および前記結像レンズ系に含まれる各レンズの励磁電流を制御する制御部とをさらに備え、 前記制御部は、前記試料を通過した電子線による前記光源の像が前記第1の絞りの位置に結像するように、前記第1および第2の対物レンズの励磁電流を制御する、電子顕微鏡。

IPC (2件)：

H01J 37/26 ,  H01J 37/141

FI (2件)：

H01J37/26 ,  H01J37/141 Z

Fターム (4件)：

5C033DD02 ,  5C033DD06 ,  5C033DE03 ,  5C033SS03

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 透過電子顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2013-098298   出願人：株式会社日立製作所
• 特開平3-165441