特許

J-GLOBAL ID：201603006382467727

ZnO系透明導電膜

発明者： 山本 哲也 ,  野本 淳一 ,  中田 邦彦
出願人/特許権者： 住友化学株式会社
代理人 (1件)： 清原 義博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-012806
公開番号（公開出願番号）：特開2016-138303
出願日： 2015年01月26日
公開日（公表日）： 2016年08月04日
要約：

【課題】耐熱性に優れ、かつ高いホール移動度を呈するZnO系透明導電膜において、チタン含有量を減少させても成長面が変わらずに高いホール移動度を呈するZnO系透明導電膜を提供する。【解決手段】透明基板上に成膜されたチタン(Ti)が添加されたZnO系透明導電膜であって、前記ZnO系透明導電膜は、XRDパターンにおいてZnO(酸化亜鉛)結晶における(0002)面の格子面のみが成長したことを特徴とするZnO系透明導電膜である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

透明基板上に成膜されたチタン(Ti)が添加されたZnO系透明導電膜であって、 前記ZnO系透明導電膜は、 XRDパターンにおいてZnO結晶における(0002)面の格子面のみが成長した ことを特徴とするZnO系透明導電膜。

IPC (3件)：

C23C 14/08 ,  H01B 5/14 ,  H01L 31/022

FI (3件)：

C23C14/08 C ,  H01B5/14 A ,  H01L31/04 266

Fターム (17件)：

4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA49 ,  4K029BB02 ,  4K029BB07 ,  4K029BC09 ,  4K029CA05 ,  4K029DC05 ,  4K029DC09 ,  4K029DC34 ,  4K029DC35 ,  4K029DC39 ,  5F151FA02 ,  5G307FA01 ,  5G307FA02 ,  5G307FB01 ,  5G307FC10