特許

J-GLOBAL ID：201603006453034800

クライオ吸着パネル及びその製造方法、並びにそれを用いた真空装置

発明者： 村瀬 尊則 ,  本島 厳 ,  田中 宏彦 ,  森▲崎▼ 友宏 ,  三田 正弘
出願人/特許権者： 大学共同利用機関法人自然科学研究機構 ,  株式会社協同インターナショナル
代理人 (1件)： 特許業務法人スズエ国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-209086
公開番号（公開出願番号）：特開2016-079823
出願日： 2014年10月10日
公開日（公表日）： 2016年05月16日
要約：

【課題】クライオ吸着パネル及びその製造方法、並びにそれを用いた真空装置を提供することである。【解決手段】本発明のクライオ吸着パネルは、冷却基板と、冷却基板に接着される吸着材とを具備し、吸着材は、冷却基板との接着部分に予め金属膜層を堆積させ、インジウム等の低融点金属を介して冷却基板に無機的に接着される。吸着材の接着部分に形成された金属膜層は、予め吸着材の多孔質構造と強固な接着力を有する金属材料を選択しスパッタリングを用いて形成される。金属膜層は、Ti、Cr又はTiCからなる密着層、Ni、Ni-Cr、TiW、Ta、TaN、TiN又はMoWからなるバリア層、及び、Cu、Ag又はAuからなる濡れ層の積層膜である。【選択図】 図7

請求項（抜粋）：

冷却された状態でガスを吸着するクライオ吸着パネルであって、 前記クライオ吸着パネルは、冷却基板と、前記冷却基板に接着される吸着材とを具備し、 前記吸着材は、前記冷却基板との接着部分に予め金属膜層を堆積させ、低融点金属を介して前記冷却基板に接着されることを特徴とするクライオ吸着パネル。

IPC (3件)：

F04B 37/08 ,  C23C 14/06 ,  F04B 37/16

FI (3件)：

F04B37/08 ,  C23C14/06 N ,  F04B37/16 C

Fターム (22件)：

3H076AA26 ,  3H076BB26 ,  3H076BB38 ,  3H076BB43 ,  3H076BB45 ,  3H076CC54 ,  3H076CC55 ,  4K029BA04 ,  4K029BA05 ,  4K029BA07 ,  4K029BA08 ,  4K029BA12 ,  4K029BA16 ,  4K029BA17 ,  4K029BA21 ,  4K029BA25 ,  4K029BA55 ,  4K029BA58 ,  4K029BB02 ,  4K029BB03 ,  4K029HA01 ,  4K029JA06

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭60-247074
  
• 特開昭61-291785
  
• 特開昭60-249678