特許
J-GLOBAL ID：201603006542802854
物理量センサー、物理量センサーの製造方法および電子機器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
上柳 雅誉
, 須澤 修
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-004818
公開番号（公開出願番号）：特開2013-145126
特許番号：特許第5935332号
出願日： 2012年01月13日
公開日（公表日）： 2013年07月25日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ベース基板と、
前記ベース基板の上方に支持され、且つ、可動電極部を備えた可動構造体と、を備え、
前記ベース基板上には、
前記可動電極部に対向して配置された固定電極部と、
前記固定電極部に電気的に接続された第1配線と、
前記可動構造体に電気的に接続された第2配線と、が設けられ、
前記可動構造体および前記固定電極部は、前記ベース基板との接合面に不純物が拡散された不純物拡散部が設けられ、前記不純物拡散部を介して前記第1配線および前記第2配線に接続され、
前記不純物拡散部は、前記可動構造体および前記固定電極部の前記ベース基板と対向する面のうち、平面視で前記ベース基板と重なり合う領域に設けられていることを特徴とする物理量センサー。
IPC (5件)：
G01P 15/08 ( 200 6.01)
, G01P 15/125 ( 200 6.01)
, G01C 19/5755 ( 201 2.01)
, G01C 19/5769 ( 201 2.01)
, H01L 29/84 ( 200 6.01)
G01P 15/08 102 B
, G01P 15/125 Z
, G01C 19/56 255
, G01C 19/56 269
, H01L 29/84 Z
