半導体装置、該半導体装置の作製方法、または該半導体装置を有する表示装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-017125
公開番号（公開出願番号）：特開2016-146478
出願日： 2016年02月01日
公開日（公表日）： 2016年08月12日
要約：

【課題】高い信頼性を有する半導体装置の作製方法を提供する。【解決手段】酸化物半導体膜を第1の温度で成膜し、酸化物半導体膜を島状に加工し、第1の温度よりも高い温度で行う工程をすることなしに、ソース電極、及びドレイン電極となる部材をスパッタリング法によって成膜し、部材を加工してソース電極、及びドレイン電極を形成し、第1の保護絶縁膜及び/または第2の保護絶縁膜を成膜した後、第1のバリア膜を成膜し、第1のバリア膜を介して、過剰酸素または酸素ラジカルを第2の保護絶縁膜に添加し、400°C未満の第2の温度で加熱処理を行うことで、過剰酸素または酸素ラジカルを酸化物半導体膜に拡散させ、第1のバリア膜の一部及び第2の保護絶縁膜の一部をウエットエッチングによって除去した後、第2のバリア膜を成膜する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

酸化物半導体膜を第1の温度で成膜し、引き続いて、前記酸化物半導体膜を島状に加工し、引き続いて、前記第1の温度よりも高い温度で行う工程をすることなしに、ソース電極、及びドレイン電極となる部材をスパッタリング法によって成膜し、前記部材を加工してソース電極、及びドレイン電極を形成し、引き続いて、第1の保護絶縁膜及び/または第2の保護絶縁膜を成膜した後、第1のバリア膜を成膜し、前記第1のバリア膜を介して、過剰酸素または酸素ラジカルを前記第2の保護絶縁膜に添加し、 400°C未満の第2の温度で加熱処理を行うことで、前記過剰酸素または前記酸素ラジカルを前記酸化物半導体膜に拡散させ、前記第1のバリア膜または前記第1のバリア膜の一部、及び前記第2の保護絶縁膜の一部をウエットエッチングによって除去した後、第2のバリア膜を成膜する、ことを特徴とする半導体装置の作製方法。

IPC (9件)：

H01L 21/336 , H01L 29/786 , H01L 21/824 , H01L 27/108 , G02F 1/136 , H05B 33/10 , H05B 33/22 , H01L 51/50 , H05B 33/14

FI (12件)：

H01L29/78 619A , H01L29/78 618B , H01L29/78 620 , H01L29/78 616K , H01L29/78 618E , H01L29/78 618A , H01L27/10 321 , G02F1/1368 , H05B33/10 , H05B33/22 Z , H05B33/14 A , H05B33/14 Z

Fターム (132件)：

2H192AA24 , 2H192BC31 , 2H192BC64 , 2H192BC72 , 2H192BC82 , 2H192CB05 , 2H192CB34 , 2H192CB37 , 2H192CB52 , 2H192CB56 , 2H192CB71 , 2H192EA74 , 2H192FA73 , 2H192HA13 , 2H192HA64 , 2H192HA90 , 3K107AA01 , 3K107AA05 , 3K107BB01 , 3K107CC21 , 3K107CC45 , 3K107DD88 , 3K107EE04 , 3K107FF14 , 3K107FF17 , 3K107GG12 , 3K107GG28 , 3K107HH05 , 5F083AD02 , 5F083AD69 , 5F083GA06 , 5F083HA02 , 5F083HA06 , 5F083JA02 , 5F083JA05 , 5F083JA06 , 5F083JA19 , 5F083JA36 , 5F083JA37 , 5F083JA38 , 5F083JA39 , 5F083JA40 , 5F083JA42 , 5F083JA60 , 5F083PR22 , 5F110AA01 , 5F110AA07 , 5F110AA09 , 5F110AA12 , 5F110AA14 , 5F110AA17 , 5F110BB02 , 5F110BB06 , 5F110CC07 , 5F110DD01 , 5F110DD02 , 5F110DD03 , 5F110DD04 , 5F110DD05 , 5F110EE01 , 5F110EE02 , 5F110EE03 , 5F110EE04 , 5F110EE06 , 5F110EE07 , 5F110EE14 , 5F110EE15 , 5F110EE30 , 5F110EE38 , 5F110EE42 , 5F110EE44 , 5F110EE45 , 5F110FF01 , 5F110FF02 , 5F110FF03 , 5F110FF04 , 5F110FF09 , 5F110FF10 , 5F110FF27 , 5F110FF28 , 5F110FF29 , 5F110FF30 , 5F110FF36 , 5F110GG01 , 5F110GG06 , 5F110GG07 , 5F110GG13 , 5F110GG14 , 5F110GG15 , 5F110GG16 , 5F110GG17 , 5F110GG19 , 5F110GG24 , 5F110GG25 , 5F110GG28 , 5F110GG29 , 5F110GG33 , 5F110GG34 , 5F110GG35 , 5F110GG42 , 5F110GG43 , 5F110GG44 , 5F110GG45 , 5F110GG58 , 5F110HK01 , 5F110HK02 , 5F110HK03 , 5F110HK04 , 5F110HK06 , 5F110HK07 , 5F110HK21 , 5F110HK22 , 5F110HK32 , 5F110HK33 , 5F110HK34 , 5F110HK35 , 5F110NN03 , 5F110NN04 , 5F110NN05 , 5F110NN22 , 5F110NN23 , 5F110NN24 , 5F110NN27 , 5F110NN28 , 5F110NN33 , 5F110NN34 , 5F110NN35 , 5F110NN40 , 5F110NN72 , 5F110NN73 , 5F110QQ09 , 5F110QQ19

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