特許

J-GLOBAL ID：201603006769307116

X線回折装置およびX線回折測定方法

発明者： 小林 信太郎 ,  光永 徹 ,  梶芳 功系兆 ,  新井 和良
出願人/特許権者： 株式会社リガク
代理人 (3件)： 福岡 昌浩 ,  奥山 知洋 ,  阿部 廣美
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-243506
公開番号（公開出願番号）：特開2015-102432
特許番号：特許第5944369号
出願日： 2013年11月26日
公開日（公表日）： 2015年06月04日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 X線源で発生させたX線を、試料台にセットした試料に照射し、この試料で回折したX線を検出器で検出するX線回折装置であって、 前記検出器は、互いに直角をなす第1の方向と第2の方向に2次元状に配列された複数の検出素子により形成された検出面を有し、前記検出面を形成する前記複数の検出素子ごとに、当該検出素子で受光したX線の強度に応じた検出信号を出力するものであり、 前記検出器の前記検出面に仮想マスクを設定するとともに、前記仮想マスクの開口条件として、少なくとも前記仮想マスクの開口寸法を前記第1の方向と前記第2の方向で独立に設定可能な仮想マスク設定部と、 前記検出器から出力された前記検出信号を、前記仮想マスク設定部で設定された前記仮想マスクの開口条件に応じて処理する信号処理部と、 を備えることを特徴とするX線回折装置。

IPC (2件)：

G01N 23/205 ( 200 6.01) ,  G01N 23/207 ( 200 6.01)

FI (2件)：

G01N 23/205 ,  G01N 23/207 320