特許
J-GLOBAL ID：201603006828849017
プローブ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人サクラ国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-070197
公開番号（公開出願番号）：特開2013-201390
特許番号：特許第5970218号
出願日： 2012年03月26日
公開日（公表日）： 2013年10月03日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 多数のプローブを有するプローブカードを、着脱自在に固定するカードクランプ機構と、
半導体ウエハを載置可能とされ、駆動機構を駆動することによって前記カードクランプ機構に固定された前記プローブカードの前記プローブに、前記半導体ウエハに形成された電極を接触させるウエハチャックと、
前記カードクランプ機構及び当該カードクランプ機構に固定された前記プローブカードを所定距離離れた少なくとも4箇所の位置に移動させるカード移動機構と、
を具備し、
前記カード移動機構は、
筐体の上側を構成する、四角形状の開口が形成されたサブヘッドプレートに、前記開口を挟んで対向するように配設された一対のYステージレールと、
前記Yステージレール上を移動可能とされ、矩形の枠状に形成されたYステージと、
前記Yステージの平行な2辺に、前記Yステージレールとは直交する方向に対向するように配設された一対のXステージレールと、
前記Xステージレール上を移動可能とされ、前記カードクランプ機構が配設されたXステージと
を有することを特徴とするプローブ装置。
IPC (3件)：
H01L 21/66 ( 200 6.01)
, G01R 1/073 ( 200 6.01)
, G01R 31/26 ( 201 4.01)
H01L 21/66 B
, G01R 1/073 E
, G01R 31/26 J
