特許
J-GLOBAL ID:201603007085275122
ワーク加工用シート基材およびワーク加工用シート
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
前田・鈴木国際特許業務法人
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-067994
公開番号(公開出願番号):特開2013-199562
特許番号:特許第6009188号
出願日: 2012年03月23日
公開日(公表日): 2013年10月03日
請求項(抜粋):
【請求項1】 ワーク加工用シートに用いられる基材であり、下記式にて示されるブロック共重合体を含む基材:
(高Tgブロック)-{(低Tgブロック)-(高Tgブロック)}n
ここで、
nは、1〜3の整数であり、
高Tgブロックは、ホモポリマーのガラス転移温度が0°C以上であるメタクリル酸メチル、アクリル酸メチル、酢酸ビニルおよびアクリルアミドからなる群から選択される1種以上の高Tgモノマーの単量体単位からなるポリマーブロックであり、
低Tgブロックは、ホモポリマーのガラス転移温度が0°C未満であるアクリル酸エチル、メタクリル酸エチル、アクリル酸ブチル、メタクリル酸ブチル、アクリル酸ヘキシル、メタクリル酸ヘキシルおよびアクリル酸2-エチルヘキシルからなる群から選択される1種以上の低Tgモノマーの単量体単位からなるポリマーブロックであり、
高Tgブロックのガラス転移温度と、低Tgブロックのガラス転移温度との差が、30°C以上であり、
ブロック共重合体の重合に用いる全単量体100質量%中、高Tgモノマーは25質量%以上含まれる。
IPC (3件):
C08F 297/00 ( 200 6.01)
, H01L 21/301 ( 200 6.01)
, C09J 7/02 ( 200 6.01)
FI (3件):
C08F 297/00
, H01L 21/78 M
, C09J 7/02 Z
引用特許: