特許

J-GLOBAL ID：201603007115349789

レチクルチャッククリーナー及びレチクルチャッククリーニング方法

発明者： 小林 嘉仁 ,  伊藤 正光 ,  稲田 太郎 ,  渡辺 淳
出願人/特許権者： 株式会社東芝 ,  デンカ株式会社
代理人 (4件)： 渡邊 薫 ,  井上 美和子 ,  梅田 慎介 ,  渡邊 薫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-532482
特許番号：特許第5875197号
出願日： 2012年06月22日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 EUV露光装置のレチクルチャックをクリーニングするためのレチクルチャッククリーナーであって、 レチクルチャックのチャック領域に貼り付けられる粘着剤層と、該粘着剤層に積層された支持層と、レチクルチャックまで搬送可能な形状を有する基板と、を具備し、 前記支持層と前記基板とが部分的に接着されているレチクルチャッククリーナー。

IPC (3件)：

G03F 7/20 ( 200 6.01) ,  H01L 21/304 ( 200 6.01) ,  B08B 7/00 ( 200 6.01)

FI (4件)：

G03F 7/20 521 ,  H01L 21/304 648 Z ,  H01L 21/304 648 E ,  B08B 7/00