特許
J-GLOBAL ID：201603007232173195

樹脂、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法

発明者：
増山 達郎

増山 達郎 について

, 
宮川 貴行

宮川 貴行 について

, 
市川 幸司

市川 幸司 について


出願人/特許権者：
住友化学株式会社

住友化学株式会社 について


代理人 (1件)： 新樹グローバル・アイピー特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-001963
公開番号（公開出願番号）：特開2016-130309
出願日： 2016年01月07日
公開日（公表日）： 2016年07月21日
要約：
【課題】良好なラインエッジラフネスでレジストパターンを製造することができる樹脂及びレジスト組成物を提供することを目的とする。【解決手段】式(I)で表される化合物に由来する構造単位を有する樹脂。 [式(I)中、R1は、水素原子又はメチル基を表す。R2は、水素原子、ヒドロキシ基又は炭素数1〜12の炭化水素基を表し、該炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-で置き換わっていてもよい。mは、1〜6の整数を表す。mが2以上の時、2つ以上のR2は同一でも相異なってもよく、2つ以上のR2が一緒になり環を形成してもよい。Xは、酸素原子又は硫黄原子を表す。A1は、単結合等を表す。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
式(I)で表される化合物に由来する構造単位を有する樹脂。
IPC (4件)：
C08F 22/22 ,  G03F 7/039 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/20
FI (5件)：
C08F22/22 ,  G03F7/039 601 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/20 501 ,  G03F7/20 521
Fターム (70件)：
2H125AF11P ,  2H125AF16P ,  2H125AF18P ,  2H125AF27P ,  2H125AF38P ,  2H125AF41P ,  2H125AF70P ,  2H125AH17 ,  2H125AH19 ,  2H125AH22 ,  2H125AH23 ,  2H125AJ14X ,  2H125AJ52X ,  2H125AJ64X ,  2H125AJ65X ,  2H125AJ68X ,  2H125AJ69X ,  2H125AM22P ,  2H125AM99P ,  2H125AN38P ,  2H125AN39P ,  2H125AN45P ,  2H125AN54P ,  2H125BA02P ,  2H125BA26P ,  2H125CA12 ,  2H125CB09 ,  2H125CC03 ,  2H125CC15 ,  2H125FA03 ,  2H197AA12 ,  2H197CA03 ,  2H197CA06 ,  2H197CA07 ,  2H197CA08 ,  2H197CA09 ,  2H197CA10 ,  2H197CE01 ,  2H197CE10 ,  2H197HA03 ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AM14Q ,  4J100AM14R ,  4J100AM14S ,  4J100BA03Q ,  4J100BA03R ,  4J100BA03S ,  4J100BA15P ,  4J100BC04Q ,  4J100BC04R ,  4J100BC04S ,  4J100BC09Q ,  4J100BC09R ,  4J100BC09S ,  4J100BC53P ,  4J100BC53Q ,  4J100BC53R ,  4J100BC53S ,  4J100BC80Q ,  4J100BC80R ,  4J100BC80S ,  4J100BC83Q ,  4J100BC83R ,  4J100BC83S ,  4J100CA03 ,  4J100DA01 ,  4J100FA03 ,  4J100FA19 ,  4J100JA38
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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引用文献：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (1件)

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