特許
J-GLOBAL ID:201603007673921170
光学フィルター
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
三好 秀和
, 寺山 啓進
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-083472
公開番号(公開出願番号):特開2016-174163
出願日: 2016年04月19日
公開日(公表日): 2016年09月29日
要約:
【課題】特定の波長域の光を選択的に、高感度に検出することができる光検出装置及びこれに用いる光学フィルターを提供する。【解決手段】支持基板上に2つの受光素子が形成されている。第1の受光素子は、p型層、n型層、光吸収半導体層、アノード電極、カソード電極、保護膜等により構成されている。第2の受光素子は、p型層、n型層、透過膜、アノード電極、カソード電極、保護膜等により構成されている。波長範囲λの光を吸収する光吸収半導体層は、pn接合領域よりも受光面側配置されている。光の吸収域がない透過膜は、pn接合領域よりも受光面側配置されている。第1の受光素子の検出信号と第2の受光素子の検出信号を演算することにより、波長範囲λの光量を計測する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
光電変換による光の検出を行う複数の光検出部を備えた光検出装置であって、
波長範囲λの光を吸収する光吸収半導体層を光電変換領域よりも受光面側に有する第1の光検出部と、
光の吸収域がない透過膜を光電変換領域よりも受光面側に有する第2の光検出部とを少なくとも備え、
前記第1の光検出部の信号と前記第2の光検出部の信号を演算することにより波長範囲λの光量を計測することを特徴とする光検出装置。
IPC (5件):
H01L 31/023
, G01J 1/02
, G01J 1/04
, H01L 31/10
, G02B 5/22
FI (5件):
H01L31/02 D
, G01J1/02 G
, G01J1/04 B
, H01L31/10 A
, G02B5/22
Fターム (26件):
2G065AA04
, 2G065AB05
, 2G065BA09
, 2G065BB24
, 2G065BC13
, 2G065BC16
, 2G065CA30
, 2H148CA01
, 2H148CA04
, 2H148CA05
, 2H148CA13
, 2H148CA17
, 2H148CA23
, 2H148CA24
, 2H148CA27
, 5F849AA02
, 5F849AB03
, 5F849BA09
, 5F849BB07
, 5F849DA03
, 5F849EA02
, 5F849GA04
, 5F849HA06
, 5F849LA03
, 5F849XB05
, 5F849XB36
引用特許: