ワーク分割装置及びワーク分割方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松浦憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-025137
公開番号（公開出願番号）：特開2016-076737
出願日： 2016年02月12日
公開日（公表日）： 2016年05月12日
要約：

【課題】ダイシングテープの弛みによるチップの品質低下等を防ぐようにしたワーク分割装置及びワーク分割方法を提供する。【解決手段】ダイシングテープをエキスパンドし、ダイシングテープにダイアタッチフィルムを介して貼付されたワークを個々のチップに分割するワーク分割手段と、ダイシングテープのワークがダイアタッチフィルムを介して貼付された領域以外の部分で、且つワーク分割手段のエキスパンドにより弛緩した部分にスポット光をあてて選択的に光加熱し、ダイシングテープの弛みを排除する選択的光加熱手段と、ワークおよび光加熱により弛みを排除したダイシングテープ部分を含む雰囲気を冷却する雰囲気冷却手段と、を備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ダイシングテープをエキスパンドし、前記ダイシングテープにダイアタッチフィルムを介して貼付されたワークを個々のチップに分割するワーク分割手段と、前記ダイシングテープの前記ワークが前記ダイアタッチフィルムを介して貼付された領域以外の部分で、且つ前記ワーク分割手段のエキスパンドにより弛緩した部分にスポット光をあてて選択的に光加熱し、前記ダイシングテープの弛みを排除する選択的光加熱手段と、前記ワークおよび前記光加熱により弛みを排除したダイシングテープ部分を含む雰囲気を冷却する雰囲気冷却手段と、を備えたワーク分割装置。

IPC (1件)：

H01L 21/301

FI (1件)：

H01L21/78 X

Fターム (7件)：

5F063AA09 , 5F063CB06 , 5F063CB29 , 5F063CC32 , 5F063DD68 , 5F063DD93 , 5F063DG21

引用特許：

出願人引用 (8件)

拡張テープ収縮装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-141171 出願人：株式会社ディスコ
特許第5013148号
フィルム状接着剤の破断装置及び破断方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-122867 出願人：株式会社ディスコ

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