特許
J-GLOBAL ID:201603007931014337

ガスセンサ

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2014-142825
公開番号(公開出願番号):特開2016-017926
出願日: 2014年07月11日
公開日(公表日): 2016年02月01日
要約:
【課題】小型で簡易な構成でセンサの強度を高め、風の影響を抑制するガスセンサを提供する。【解決手段】空間の熱変化を測定する加熱手段を備えたガスセンサであって、外気のガス濃度を測定する第1の感熱素子3Aと、基準となる閉空間雰囲気の温度を測定する第2の感熱素子3Bと凹部4A、4Bを備えたカバー2で構成され、第1、第2の感熱素子の検出領域は、前記基板に形成された空洞部上に形成されており、第1の感熱素子は空洞部以外の部分に通気口5を有し、前記感熱素子が形成された面と異なる面から前記通気口を通じて入ってくるガスによる空間の熱変化を測定することを特徴するガスセンサ。【選択図】図1
請求項(抜粋):
空間中の気体の熱伝導による温度変化を利用してガス検出を行うガスセンサであって、外気の雰囲気温度を測定する第1の感熱素子と、基準となる閉空間の雰囲気温度を測定する第2の感熱素子と、第1、第2の空洞部を有し、前記第1、第2の感熱素子が形成された基板と、前記第1、第2の感熱素子を加熱する加熱手段と、前記基板に固定され、前記第1、第2の感熱素子に対応した部分に第1、第2の凹部を備えたカバーとを備え、 前記第1、第2の感熱素子の検出領域は、それぞれ前記基板の前記第1、第2の空洞部上に形成されており、前記基板の前記第1の感熱素子側であって、かつ前記第1の空洞部以外の部分に通気口を有し、前記第1、第2の感熱素子は同一の前記基板上に形成されており、前記第1、第2の感熱素子が形成された面とは異なる面から前記通気口を通じて入ってくるガスによる空間の温度変化を測定することを特徴とするガスセンサ。
IPC (1件):
G01N 27/18
FI (1件):
G01N27/18
Fターム (15件):
2G060AA01 ,  2G060AB02 ,  2G060AE19 ,  2G060AF07 ,  2G060AG11 ,  2G060AG15 ,  2G060BA05 ,  2G060BB03 ,  2G060BB04 ,  2G060BD02 ,  2G060BD08 ,  2G060HB06 ,  2G060HC02 ,  2G060HC10 ,  2G060JA01
引用特許:
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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