特許
J-GLOBAL ID:201603008012122685
振動マスジャイロスコープシステムおよび方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
恩田 誠
, 恩田 博宣
, 本田 淳
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-022728
公開番号(公開出願番号):特開2016-164550
出願日: 2016年02月09日
公開日(公表日): 2016年09月08日
要約:
【課題】直交位相効果を実質的に緩和した振動マスジャイロスコープシステムを提供する。【解決手段】振動マスジャイロスコープシステムを含む。このシステムは、振動マスと、振動マスに結合されて、振動マスの面内運動を容易にするように構成された複数の電極とを備えるセンサシステムを含む。このシステムはまた、駆動軸に沿った振動マスの面内周期的振動運動をもたらすべく複数の電極のうちの第1のセットに供給される駆動信号を生成するように、かつ、入力軸を中心とした振動マスジャイロスコープシステムの回転を計算するべく複数の電極のうちの第2のセットに供給される力再平衡信号を生成するように、かつ、振動マスに関連する直交位相効果を実質的に緩和するべく複数の電極のうちの第3のセットに供給される直交位相信号を生成するように構成されたジャイロスコープ制御部も備える。【選択図】図2
請求項(抜粋):
センサシステムとジャイロスコープ制御部とを備える振動マスジャイロスコープシステムであって、
前記センサシステムは、振動マスおよび複数の電極を備え、前記複数の電極は、前記振動マスに結合されて、前記振動マスの面内運動を容易にするように構成されており、
前記ジャイロスコープ制御部は、駆動信号、力再平衡信号、および直交位相信号を生成するように構成されており、前記駆動信号は、駆動軸に沿った前記振動マスの面内周期的振動運動をもたらすべく前記複数の電極のうちの第1のセットに供給され、前記力再平衡信号は、入力軸を中心とした振動マスジャイロスコープシステムの回転を計算するべく前記複数の電極のうちの第2のセットに供給され、前記直交位相信号は、前記振動マスに関連する直交位相効果を実質的に緩和するべく前記複数の電極のうちの第3のセットに供給される、振動マスジャイロスコープシステム。
IPC (2件):
FI (2件):
G01C19/5755
, H01L29/84 Z
Fターム (15件):
2F105AA01
, 2F105AA03
, 2F105AA05
, 2F105BB03
, 2F105BB07
, 2F105BB12
, 2F105CC04
, 2F105CD03
, 2F105CD05
, 4M112AA02
, 4M112BA10
, 4M112CA42
, 4M112CA51
, 4M112FA03
, 4M112GA03
引用特許:
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