特許
J-GLOBAL ID：201603008192396915

ロール

発明者：
ソン・ファン・イ

ソン・ファン・イ について

, 
ドン・リュル・キム

ドン・リュル・キム について

, 
ジャン・ヨン・ファン

ジャン・ヨン・ファン について


出願人/特許権者：
エルジー・ケム・リミテッド

エルジー・ケム・リミテッド について


代理人 (2件)： 実広 信哉 ,  渡部 崇
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-545377
公開番号（公開出願番号）：特表2016-505712
出願日： 2013年12月02日
公開日（公表日）： 2016年02月25日
要約：
本発明は、ロール、膜形成装置及び膜形成方法に関する。本発明では、基板、例えば、プラスチックフィルム、纎維性または金属性ウェブやフィルムのような可撓性基板を移送しながら前記基板の表面に膜を形成することができる装置またはその装置を使用した膜形成方法が提供される。
請求項（抜粋）：
基板を移送することができるように設置された一つ以上のガイドロールを含む移送手段と、前記移送手段により移送される前記基板の表面に膜を形成するように設置されている処理領域と、を含む膜形成装置の前記ガイドロールとして使用されるロールであって、 前記基板の前記移送方向と垂直な方向の末端に接触され、その以外の部分は接触しないように末端部の直径が中央部に比べて大きいか、前記中央部が存在しない構造を有することを特徴とするロール。
IPC (5件)：
C23C 16/44 ,  C23C 14/56 ,  C23C 16/455 ,  C23C 16/54 ,  H01L 21/31
FI (6件)：
C23C16/44 F ,  C23C14/56 B ,  C23C14/56 G ,  C23C16/455 ,  C23C16/54 ,  H01L21/31 B
Fターム (22件)：
4K029AA09 ,  4K029AA11 ,  4K029AA24 ,  4K029AA25 ,  4K029JA10 ,  4K029KA03 ,  4K030CA06 ,  4K030CA07 ,  4K030CA08 ,  4K030CA17 ,  4K030EA03 ,  4K030EA11 ,  4K030GA12 ,  4K030GA14 ,  4K030HA01 ,  4K030KA45 ,  5F045AA15 ,  5F045AF07 ,  5F045AF10 ,  5F045DP22 ,  5F045DQ12 ,  5F045EE19
引用特許：
出願人引用 (4件)
全件表示
審査官引用 (5件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM