特許
J-GLOBAL ID：201603008448752986
感放射線性樹脂組成物、レジストパターン形成方法、重合体及び化合物
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (9件)：
天野 一規
, 池田 義典
, 小川 博生
, 石田 耕治
, 各務 幸樹
, 根木 義明
, 川端 和也
, 塩谷 隆嗣
, 藤中 賢一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-199048
公開番号（公開出願番号）：特開2015-064508
特許番号：特許第6024633号
出願日： 2013年09月25日
公開日（公表日）： 2015年04月09日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 下記式(1)で表される構造単位を有する第1重合体、及び
感放射線性酸発生体
を含有する感放射線性樹脂組成物。
(式(1)中、R1は、水素原子、フッ素原子、メチル基又はトリフルオロメチル基である。R2は、二重結合を含む炭素数5〜20の脂環式炭化水素基である。R3及びR4は、それぞれ独立して、水素原子又は炭素数1〜10の1価の炭化水素基である。R5は、単結合又は炭素数1〜20の2価の有機基である。R6及びR7は、それぞれ独立して、水素原子、フッ素原子、炭素数1〜20の1価の炭化水素基又は炭素数1〜20の1価のフッ素化炭化水素基である。R8は、炭素数1〜20の1価の炭化水素基又は炭素数1〜20の1価のフッ素化炭化水素基である。但し、R6、R7及びR8のうち少なくとも1つは、フッ素原子又はフッ素原子を含む基である。)
IPC (4件)：
G03F 7/039 ( 200 6.01)
, G03F 7/004 ( 200 6.01)
, C08F 20/22 ( 200 6.01)
, C07C 69/675 ( 200 6.01)
G03F 7/039 601
, G03F 7/004 503 A
, C08F 20/22
, C07C 69/675 CSP
