パーティクルカウンタ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：青木修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-045175
公開番号（公開出願番号）：特開2016-164530
出願日： 2015年03月06日
公開日（公表日）： 2016年09月08日
要約：

【課題】良好なS/N比で流体中の小粒径粒子の計数を行うことができるパーティクルカウンタを得る。【解決手段】照射光学系12は、光源1からの光を分岐して得られる複数の光のうちの1つの光を、流路2a内を流れる流体に照射して、検出領域を形成する。検出光学系13は、その検出領域内の流体に含まれる粒子からの散乱光のうち、照射光学系の光軸とは異なる方向の散乱光を、ビームスプリッタ17に入射させる。他方、ビームエキスパンダ16は、その複数の光のうちの別の光を参照光としてビームスプリッタ17に入射させる。検出部4は、ビームスプリッタ17によって得られる、散乱光と参照光との干渉光を受光素子で受光し、その干渉光に対応する検出信号を生成し、計数部6は、その検出信号に基づいて粒子の計数を行う。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

安定な周波数の光を出射する光源と、 2つの光を空間的に重畳する光重畳部と、

IPC (1件)：

G01N 15/02

FI (1件)：

G01N15/02 A

引用特許：

審査官引用 (12件)

浮遊粒子測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-162206 出願人：株式会社堀場製作所, 国立大学法人京都大学
粒子計数装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-192052 出願人：リオン株式会社
特許第5438198号

全件表示

前のページに戻る