硬質被膜、切削工具および硬質被膜の製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人深見特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-124610
公開番号（公開出願番号）：特開2016-003369
出願日： 2014年06月17日
公開日（公表日）： 2016年01月12日
要約：

【課題】長寿命の切削工具を作製することが可能な硬質被膜、切削工具および硬質被膜の製造方法を提供する。【解決手段】複数の結晶粒と、結晶粒の間の非晶質相とを含み、結晶粒は、それぞれ、fcc構造を有するTi1-xAlxN層と、hcp構造を有するTi1-yAlyN層とが交互に積層された構造を有しており、Ti1-xAlxN層のAl組成比xは0≦x<1の関係を満たし、Ti1-yAlyN層のAl組成比yは0<y≦1の関係を満たし、Al組成比xとAl組成比yとは(y-x)≧0.1の関係を満たし、非晶質相は、TiおよびAlの少なくとも一方の炭化物、窒化物または炭窒化物を含む硬質被膜である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

複数の結晶粒と、前記結晶粒の間の非晶質相と、を含み、前記結晶粒は、それぞれ、fcc構造を有するTi1-xAlxN層と、hcp構造を有するTi1-yAlyN層とが交互に積層された構造を有しており、前記Ti1-xAlxN層のAl組成比xは、0≦x<1の関係を満たし、前記Ti1-yAlyN層のAl組成比yは、0<y≦1の関係を満たし、前記Al組成比xと前記Al組成比yとは、(y-x)≧0.1の関係を満たし、前記非晶質相は、TiおよびAlの少なくとも一方の炭化物、窒化物または炭窒化物を含む、硬質被膜。

IPC (5件)：

C23C 16/34 , B23B 27/14 , B23C 5/16 , B23B 51/00 , C23C 16/56

FI (5件)：

C23C16/34 , B23B27/14 A , B23C5/16 , B23B51/00 J , C23C16/56

Fターム (31件)：

3C037CC02 , 3C046FF10 , 3C046FF13 , 3C046FF16 , 3C046FF18 , 3C046FF22 , 3C046FF25 , 3C046FF27 , 4K030AA03 , 4K030AA11 , 4K030AA13 , 4K030AA16 , 4K030AA17 , 4K030AA18 , 4K030BA02 , 4K030BA18 , 4K030BA36 , 4K030BA38 , 4K030BA41 , 4K030BA43 , 4K030BB06 , 4K030BB12 , 4K030CA02 , 4K030CA03 , 4K030CA05 , 4K030DA08 , 4K030DA09 , 4K030EA05 , 4K030EA06 , 4K030FA10 , 4K030LA22

引用特許：

出願人引用 (2件)

すぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具
公報種別：公開公報出願番号：特願2014-094202 出願人：三菱マテリアル株式会社
高速断続切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具
公報種別：公開公報出願番号：特願2013-053100 出願人：三菱マテリアル株式会社

引用文献：

出願人引用 (1件)

Self-organized periodic soft-hard nanolamellae in polycrystalline TiAlN thin film

審査官引用 (1件)

Self-organized periodic soft-hard nanolamellae in polycrystalline TiAlN thin film

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