特許
J-GLOBAL ID:201603008598938972

三次元計測法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 峯岸 武司
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2015-047035
公開番号(公開出願番号):特開2016-166806
出願日: 2015年03月10日
公開日(公表日): 2016年09月15日
要約:
【課題】 撮影方式が積分型で、投影する格子パターンの位相シフト量が任意の一般化位相シフト法により、被測定物の形状を簡単に三次元計測する。【解決手段】 位相シフト解析装置7は撮影装置6から連続する3枚の変形格子像a,b,cを入力し、各変形格子像間の輝度値I0,I1,I2について平均二乗誤差を計算する。そして、輝度値の振動成分を表す項が0にされてsin関数で表された平均二乗誤差から、各変形格子像間の相対的な位相シフト量Δφpqの絶対値を逆三角関数であるarccosを使って求める。求めた各位相シフト量Δφpqの和で表した評価関数fn(κ)が巡回差分位相条件を満たす各位相シフト量Δφpqの符号およびその解κ0を求め、符号を含めた位相シフト量Δφpqの値を求める。位相シフト量Δφpqのこの値から輝度値の位相θの値を求めて、被測定物1の形状を三次元計測する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
移動する格子パターンを被測定物に投影し、被測定物の形状に応じて変形する前記格子パターンを撮影して3枚の変形格子像を取得し、取得した3枚の前記変形格子像間における輝度値について平均二乗誤差を計算し、前記輝度値の位相分布のランダム性が成り立つときには前記輝度値の振動成分の空間平均が統計的に0になることに基づいて前記振動成分を表す項が0にされて三角関数で表された前記平均二乗誤差から、各前記変形格子像間の相対的な位相シフト量の絶対値を逆三角関数を使って求め、求めた各前記位相シフト量の和で表した評価関数が巡回差分位相条件を満たす各前記位相シフト量の符号および前記評価関数の解を解探索アルゴリズムを用いて求め、求めた各前記位相シフト量の符号および前記評価関数の解から符号を含めた前記位相シフト量の値を求め、前記位相シフト量のこの値から前記変形格子像の位相値を求めて被測定物の形状を三次元計測する三次元計測法。
IPC (1件):
G01B 11/25
FI (1件):
G01B11/25 H
Fターム (14件):
2F065AA51 ,  2F065AA53 ,  2F065DD06 ,  2F065FF04 ,  2F065FF44 ,  2F065HH07 ,  2F065JJ19 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL41 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ14 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ42

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