特許

J-GLOBAL ID：201603008865799430

3次元測定装置

発明者： コ,クワング-イル ,  セオング,イウン-ヒョング ,  ジェオン,ムーン-ヤング
出願人/特許権者： コー・ヤング・テクノロジー・インコーポレーテッド
代理人 (2件)： 中島 淳 ,  加藤 和詳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-019545
公開番号（公開出願番号）：特開2016-106225
出願日： 2016年02月04日
公開日（公表日）： 2016年06月16日
要約：

【課題】3次元形状の測定精度をより改善できる3次元形状測定装置を提供する。【解決手段】測定対象物を固定するワークステージ20と、光源41a、光源から照射された光を透過させる格子41b及び格子の格子イメージを測定対象物に結像させる投影レンズ41dを含み、測定対象物に対して格子イメージを第1方向にN回入射した後、測定対象物に格子イメージを第2方向にN’回入射する投影部41と(N及びN’は2以上の自然数)、結像レンズ及びカメラを含み、測定対象物100によって反射される第1方向反射イメージ及び第2方向反射イメージを受信するイメージ取り込み装置と、イメージ取り込み装置に受信された第1方向反射イメージ及び第2方向反射イメージを用いて測定対象物の影領域を補償して測定対象物の3次元状態を算出する制御部50と、を含む。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

ベース部材と、 前記ベース部材の上に配置されて測定対象物を固定するワークステージと、 前記測定対象物に対して格子イメージを第1方向および前記第1方向と異なる第2方向に入射する投影部と、 前記測定対象物に前記第1方向および前記第2方向にそれぞれ前記格子イメージが入射されて前記測定対象物から反射された第1反射イメージ及び第2反射イメージを受信するイメージ取り込み装置と、 前記イメージ取り込み装置に受信された前記第1反射イメージ及び前記第2反射イメージを用いて前記測定対象物の影領域を補償して前記測定対象物の3次元形状を算出する制御部と、 前記ベース部材又は前記ワークステージに設定された基準面に光を入射するための基準面光源と、 を含み、 前記制御部は、前記基準面光源から前記基準面に前記光が入射されて前記基準面から反射された光を受信し、前記基準面と前記イメージ取り込み装置との間の距離を測定し、 測定された前記距離に応じて前記測定対象物と前記イメージ取り込み装置との間の距離を調整することによって前記測定対象物と前記イメージ取り込み装置との間の焦点距離を一定に保つことを特徴とする3次元測定装置。

IPC (1件)：

G01B 11/25

FI (1件)：

G01B11/25 H

Fターム (20件)：

2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065FF04 ,  2F065FF09 ,  2F065FF42 ,  2F065GG04 ,  2F065HH04 ,  2F065HH06 ,  2F065HH14 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL12 ,  2F065LL21 ,  2F065LL42 ,  2F065LL62 ,  2F065MM16 ,  2F065PP04 ,  2F065PP12 ,  2F065PP23