特許
J-GLOBAL ID:201603008978282409

埃などの侵入を抑制する基板収納容器

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 正林 真之 ,  林 一好 ,  岩池 満
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2014-521075
特許番号:特許第5989110号
出願日: 2012年06月15日
請求項(抜粋):
【請求項1】 複数の基板を収納可能な基板収納空間が内部に形成され、一端部に前記基板収納空間に連通する容器本体開口部が形成された開口周縁部を有する容器本体と、 前記開口周縁部に対して着脱可能であり、シール部材取付部を有し、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、 前記蓋体の前記シール部材取付部に取り付けられ、前記開口周縁部に当接可能であり、前記開口周縁部と前記蓋体との間に介在して前記開口周縁部に密着して当接することにより、前記蓋体と共に前記容器本体開口部を気密状態で閉塞するシール部材と、を備え、 前記容器本体の一端部と当該一端部に対する他端部と結ぶ方向を手前奥行き方向といい、前記手前奥行き方向に直交する方向を直交方向という場合に、前記開口周縁部は、前記手前奥行き方向に沿う第1開口内面と、前記蓋体が前記容器本体開口部を閉塞している状態において前記第1開口内面よりも前記直交方向の内側において前記直交方向に沿う第2開口内面と、前記シール部材よりも前記直交方向の内側において前記第2開口内面から延出する気流邪魔壁であって、前記容器本体開口部を閉塞している前記蓋体が前記開口周縁部から取り外された瞬間に前記容器本体の外部から流入して前記第1開口内面及び前記第2開口内面に沿って流れる気流の経路上に設けられる気流邪魔壁と、 を備え、 前記気流邪魔壁は、弾性変形可能であり、前記蓋体が前記容器本体開口部を閉塞している状態において前記開口周縁部と前記蓋体の内面との間で圧縮されていると共に、前記蓋体が前記開口周縁部から取り外された場合において前記シール部材が前記開口周縁部から離れたときにも、前記蓋体の内面に当接している基板収納容器。
IPC (2件):
H01L 21/673 ( 200 6.01) ,  B65D 85/86 ( 200 6.01)
FI (2件):
H01L 21/68 T ,  B65D 85/38 R
引用特許:
出願人引用 (4件)
  • 容器の封止構造
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平9-320749   出願人:信越ポリマー株式会社
  • ガスケットと同ガスケットによる容器の密閉構造
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平8-351415   出願人:小松化成株式会社
  • 収納容器
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2007-315733   出願人:ミライアル株式会社
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審査官引用 (4件)
  • 容器の封止構造
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平9-320749   出願人:信越ポリマー株式会社
  • ガスケットと同ガスケットによる容器の密閉構造
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平8-351415   出願人:小松化成株式会社
  • 収納容器
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2007-315733   出願人:ミライアル株式会社
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