真空環境対応カメラ及びリークガス検出方法

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：田村爾 , 守山辰雄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-107906
公開番号（公開出願番号）：特開2013-235160
特許番号：特許第5940883号
出願日： 2012年05月09日
公開日（公表日）： 2013年11月21日
請求項（抜粋）：

【請求項1】リークチェック用ガスの検出により真空環境内への外気の流入を検出するリークチェック用ガス検出部が設けられた真空環境内に設置される真空環境対応カメラであって、耐真空環境の強度を有する気密構造の筐体を備え、前記筐体は、カメラを制御する為のケーブルを接続するコネクタと、前記真空環境内において外気の流入を検出する為のリークチェック用ガスを前記真空環境の外部から前記筐体内に導入するリークチェック用ポートを備えた、ことを特徴とする真空環境対応カメラ。

IPC (2件)：