特許

J-GLOBAL ID：201603008989428456

非平行アイランドエッチング

発明者： マッケイ,ロジャー,エイ ,  サディク,パトリック,ダブリュー
出願人/特許権者： ヒューレット-パッカード デベロップメント カンパニー エル.ピー.
代理人 (4件)： 古谷 聡 ,  大西 昭広 ,  西山 清春 ,  細井 玲
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-525973
公開番号（公開出願番号）：特表2016-537207
出願日： 2013年10月30日
公開日（公表日）： 2016年12月01日
要約：

エッチングアイランドが、基板の第1の面と、該第1の面に非平行な該基板の第2の面に形成される。該基板の該第1の面及び該第2の面は、該エッチングアイランドと反応する溶液に同時にさらされて、該第1の面内及び該第2の面内へと延在する多孔質領域を同時に形成する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板の第1の面及び第2の面にエッチングアイランドを形成するステップであって、該第1の面と該第2の面は非平行である、ステップと、 前記基板の前記第1の面及び前記第2の面から内部に延びる多孔質領域を同時に形成するために、前記第1の面と前記第2の面を、前記エッチングアイランドと反応する溶液に同時にさらすステップ を含む方法。

IPC (4件)：

B81C 1/00 ,  C23F 1/00 ,  B01D 39/20 ,  B01D 39/16

FI (6件)：

B81C1/00 ,  C23F1/00 Z ,  B01D39/20 A ,  B01D39/20 D ,  B01D39/20 Z ,  B01D39/16 Z

Fターム (28件)：

3C081AA18 ,  3C081BA03 ,  3C081BA23 ,  3C081CA02 ,  3C081CA15 ,  3C081CA28 ,  3C081DA02 ,  3C081DA03 ,  3C081DA07 ,  3C081DA10 ,  3C081DA11 ,  3C081DA27 ,  3C081DA30 ,  4D019AA01 ,  4D019AA03 ,  4D019BA01 ,  4D019BA02 ,  4D019BA05 ,  4D019BA06 ,  4D019BA13 ,  4D019BB07 ,  4D019BD01 ,  4D019CB04 ,  4D019CB06 ,  4K057WB01 ,  4K057WC05 ,  4K057WE08 ,  4K057WE25

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 誘電体フィルタの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-326601   出願人：株式会社住友金属エレクトロデバイス
• 特許第4049329号