特許
J-GLOBAL ID：201603009045253528
編集装置及び編集方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
小宮 良雄
, 大西 浩之
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-116396
公開番号（公開出願番号）：特開2013-242252
特許番号：特許第5953118号
出願日： 2012年05月22日
公開日（公表日）： 2013年12月05日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 検査対象の基板に対する検査用プローブの接触位置を編集する編集装置であって、
該基板の製造用データに基づいて、該検査用プローブの接触対象となる複数の検査用導通部、及び該検査用導通部に対する該検査用プローブの理論的な接触位置を決定する理論接触位置決定手段と、
該製造用データに基づいて前記基板を複数の領域に区分して、それら領域ごとに属する該複数の検査用導通部の中から、該基板との位置合わせのために用いる位置合わせ用導通部を選別する選別手段と、
該基板の撮像画像の中から該位置合わせ用導通部に対する対応部位を検出する対応部位検出手段と、
該領域ごとに、該位置合わせ用導通部の該製造用データに基づく理論的な位置と、該対応部位の該基板における位置との位置ずれ量を、ベクトルとして検出する位置ずれ量検出手段と、
該領域ごとに、該位置ずれ量に基づいて、該検査用導通部における該検査用プローブの理論的な接触位置を、該基板に対応させて補正する補正手段とを備え、
前記選別手段では、前記位置ずれ量検出手段の検出した少なくとも2つの領域の前記位置ずれ量に基づいて、前記領域の数を増加させて再区分することを特徴とする編集装置。
IPC (2件)：
G01R 31/28 ( 200 6.01)
, G01R 31/02 ( 200 6.01)
G01R 31/28 K
, G01R 31/02
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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