特許

J-GLOBAL ID：201603009071355088

開口部のガスの流動制限

発明者： ケニー, ダニエル ジェームズ
出願人/特許権者： マイクロマス ユーケー リミテッド
代理人 (3件)： 池田 成人 ,  山口 和弘 ,  野田 雅一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-513255
特許番号：特許第5984315号
出願日： 2012年06月01日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 使用中異なる圧力で保持され、両方のチャンバが真空チャンバを有し、前記チャンバを前記異なる圧力で保持するため真空ポンプに接合され、2つの前記チャンバが、前記チャンバのうちの1つから他の前記チャンバにイオンを伝送するため穴により相互接続される2つのチャンバと、 使用中前記穴および前記チャンバ間を通るガス流量を変化させるように、前記穴の領域を変化させる第1の装置と、 前記穴へおよび前記穴を通してイオンを発するイオン貯蔵装置であって、前記穴が相対的に広い領域であるとき、イオンが前記穴を通して発せられ、前記穴が相対的に小さい領域である、または閉鎖されているとき、イオンがイオン貯蔵装置内に蓄積され、前記穴を通して発せられないように前記穴と同期されるイオン貯蔵装置と を備える、質量スペクトロメータ。

IPC (2件)：

H01J 49/06 ( 200 6.01) ,  G01N 27/62 ( 200 6.01)

FI (2件)：

H01J 49/06 ,  G01N 27/62 E