漏れ検出装置およびこれを有する流体制御器

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：日比紀彦 , 岸本瑛之助 , 渡邉彰 , 松村直都
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-162244
公開番号（公開出願番号）：特開2014-021029
特許番号：特許第5978038号
出願日： 2012年07月23日
公開日（公表日）： 2014年02月03日
請求項（抜粋）：

【請求項1】流体の漏れを検出する漏れ検出装置であって、センサ保持体と、漏れ検出対象部材に設けられて漏れ検出対象部材内の密封部分と外部とを連通するリークポートに対向するようにセンサ保持体に保持された超音波センサと、超音波センサのセンサ面とリークポートとの間に設けられた超音波通路と、超音波センサで得られた超音波を処理する処理回路とを備えていることを特徴とする漏れ検出装置。

IPC (1件)：