オートフォーカス機構

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：高矢諭 , 松山圭佑 , 牧野剛博
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-094298
公開番号（公開出願番号）：特開2013-222109
特許番号：特許第5864347号
出願日： 2012年04月17日
公開日（公表日）： 2013年10月28日
請求項（抜粋）：

【請求項1】レーザ光を集光して測定ワークに照射する対物レンズと、該対物レンズを介して該測定ワークからの反射光を分岐するビームスプリッタと、分岐された一方の該反射光の焦点位置の手前側に配置された第1光量制限素子と、該第1光量制限素子を通過した該反射光を受光する第1受光素子と、分岐されたもう一方の該反射光の焦点位置の奥側に配置された第2光量制限素子と、該第2光量制限素子を通過した該反射光を受光する第2受光素子と、第1、第2受光素子から出力される信号をそれぞれA信号電圧、B信号電圧に変換し、式(1)、(2)に示すA+B信号電圧とS信号電圧とを求める処理部と、を備えるオートフォーカス機構において、前記処理部に、前記S信号電圧における最大電圧を示す最大位置から前記対物レンズと前記測定ワークとの間の距離が小さくなる方向にあり且つ該距離が該対物レンズの焦点距離とされた際に得られる該S信号電圧である合焦判断電圧と該最大電圧から該合焦判断電圧を減算して得た電圧よりも小さく設定される許容電圧との和の電圧が前記S信号電圧となる前記距離における前記A+B信号電圧を第1下限電圧と定める第1演算手段と、前記S信号電圧における最小電圧を示す最小位置から前記距離が拡大する方向にあり且つ前記合焦判断電圧と前記許容電圧との差の電圧が前記S信号電圧となる前記距離における前記A+B信号電圧を第2下限電圧と定める第2演算手段と、該第1、第2下限電圧のうちの高い方の電圧を下限電圧と定める第3演算手段と、前記S信号電圧において前記最大位置と前記最小位置の間にある前記合焦判断電圧と同じ電圧となる前記距離における前記A+B信号電圧を上限電圧と定める第4演算手段と、前記上限電圧と前記下限電圧とを、前記A+B信号電圧から自身を減算して得た電圧がゼロ以上の前記距離における前記合焦判断電圧を有効とする閾値電圧であるS信号有効判定電圧の設定可能な範囲の上限値と下限値として出力する出力手段と、を備えることを特徴とするオートフォーカス機構。 A+B信号電圧=A信号電圧+B信号電圧 (1) S信号電圧=(A信号電圧-B信号電圧)/(A信号電圧+B信号電圧) (2)

IPC (4件)：

G02B 7/28 ( 200 6.01) , G01B 11/00 ( 200 6.01) , G02B 21/00 ( 200 6.01) , G02B 21/26 ( 200 6.01)

FI (5件)：

G02B 7/28 H , G02B 7/28 N , G01B 11/00 B , G02B 21/00 , G02B 21/26

引用特許：

出願人引用 (4件)

オートフォーカス顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-024246 出願人：オリンパス光学工業株式会社
オートフォーカス装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-139690 出願人：オリンパス光学工業株式会社
光ピックアップ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-389503 出願人：シャープ株式会社

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