振動素子、光走査装置、画像形成装置、画像投影装置および画像読み取り装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：大塚康徳 , 高柳司郎 , 大塚康弘 , 木村秀二 , 下山治 , 永川行光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-252253
公開番号（公開出願番号）：特開2016-114715
出願日： 2014年12月12日
公開日（公表日）： 2016年06月23日
要約：

【課題】比較的に低コストを実現でき、消費電力の増加を抑制し、かつ、製造ばらつきの影響にも寛容な手法で、共振周波数の安定化を図ること。【解決手段】振動素子10は捻り梁101、102と、捻り梁101、102と一体または接合されているミラー部20と、ミラー部20を駆動する駆動部として機能する磁石40および駆動コイル50と、ミラー部20に取り付けられ、環境温度の変化に応じて共振周波数を調整する共振周波数調整部材301〜304を有する。このように、環境温度の変化に応じて共振周波数を調整する共振周波数調整部材301〜304がミラー部20に取り付けられている。これにより、環境温度の変化に依存した梁部のヤング率の変化を相殺し、共振周波数の変動を抑えることが可能となる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

捻り梁と、前記捻り梁と一体または接合されているミラー部と、前記ミラー部を駆動する駆動部と、前記ミラー部に取り付けられ、環境温度の変化に応じて共振周波数を調整する共振周波数調整部材とを有することを特徴とする振動素子。

IPC (4件)：

G02B 26/10 , G02B 26/08 , B81B 3/00 , H04N 1/028

FI (4件)：

G02B26/10 104Z , G02B26/08 E , B81B3/00 , H04N1/028 Z

Fターム (47件)：

2H045AB16 , 2H045AB38 , 2H045AB44 , 2H045AB81 , 2H045CA88 , 2H045CA98 , 2H141MA12 , 2H141MB24 , 2H141MC05 , 2H141MC09 , 2H141MD12 , 2H141MD16 , 2H141MD20 , 2H141MD23 , 2H141MD24 , 2H141MD40 , 2H141ME09 , 2H141ME25 , 2H141MF21 , 2H141MF22 , 2H141MF25 , 2H141MG04 , 2H141MZ06 , 2H141MZ13 , 2H141MZ16 , 2H141MZ24 , 2H141MZ27 , 2H141MZ29 , 3C081AA07 , 3C081AA09 , 3C081BA28 , 3C081BA44 , 3C081BA47 , 3C081BA54 , 3C081CA32 , 3C081EA07 , 3C081EA11 , 5C051AA01 , 5C051AA02 , 5C051BA02 , 5C051CA06 , 5C051DA01 , 5C051DB24 , 5C051DC04 , 5C051DC07 , 5C051DE26 , 5C051FA01

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