特許
J-GLOBAL ID:201603009572691843

形状計測装置及び形状計測方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 片山 修平
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-204884
公開番号(公開出願番号):特開2014-059239
特許番号:特許第5971050号
出願日: 2012年09月18日
公開日(公表日): 2014年04月03日
請求項(抜粋):
【請求項1】 輝度が周期的に変化するパターンであって、互いに位相がずれた複数の位相シフトパターンと、暗部と明部の2値パターンであって、前記明部と前記暗部の周期が異なる複数の空間コードパターンと、を別々に計測対象物に投影する投影装置と、 前記計測対象物を撮像する撮像装置と、 前記複数の位相シフトパターンが投影され且つ前記複数の空間コードパターンが投影されていない前記計測対象物を撮像した複数の位相シフト画像から、各画素において平均輝度より高い輝度によって生成された明部基準画像と、各画素において平均輝度より低い輝度によって生成された暗部基準画像と、を含む基準画像を生成する基準画像生成部と、 前記複数の空間コードパターンが投影され且つ前記複数の位相シフトパターンが投影されていない前記計測対象物を撮像した複数の空間コード画像を、前記明部基準画像及び前記暗部基準画像と比較することで、前記複数の空間コード画像の各画素における明暗を判定する判定部と、 前記判定部で判定された前記複数の空間コード画像の明暗情報と、前記複数の位相シフト画像から求めた位相情報と、を用いて、前記計測対象物の形状を算出する算出部と、を備えることを特徴とする形状計測装置。
IPC (2件):
G01B 11/25 ( 200 6.01) ,  G06T 1/00 ( 200 6.01)
FI (2件):
G01B 11/25 H ,  G06T 1/00 315
引用特許:
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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