回折光学部材

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：恩田誠 , 恩田博宣 , 本田淳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-036014
公開番号（公開出願番号）：特開2016-118805
出願日： 2016年02月26日
公開日（公表日）： 2016年06月30日
要約：

【課題】より高い効率を達成でき、性能を低下させずにエッチング後の追加層の蒸着を可能にする回折光学部材を提供すること。【解決手段】透過性または反射性の回折光学部材は、上面を有した基板を備える。上面は、パターンを有するようにエッチングされる。前記パターンは、入射光ビームが上面に照射される場合に、入射光ビームが複数の回折光ビームに分離されるように形成された、周期的な溝の表面パターンを備える。複数の回折光ビームは、複数の第1回折ビームと、複数の第2回折ビームとを含む。第1回折ビームは、90%を超える第1総計効率を有する。複数の第2回折ビームは、10%未満の第2総計効率を有する。第1回折ビームの最大パワーと最小パワーは、第1回折ビームの平均パワーの少なくとも10%だけ異なる。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

上面を有した光反射性基板を備え、前記上面は、パターンにエッチングされ、前記パターンは、定数である幅Wをそれぞれ有した周期的な溝の表面パターンを含み、前記周期的な溝の表面パターンにおける前記溝はいずれも前記幅Wを有し、前記幅Wはすべての前記溝に亘って一定であり、前記パターンは、連続的な深さプロファイルh(x)を有し、xは、前記幅Wに亘って変化する幅方向の座標であり、前記パターンは、波長λを有した入射光ビームが前記光反射性基板の上面に照射される場合に、前記入射光ビームが反射され、複数の回折光ビームに分離されるように形成され、前記複数の回折光ビームは、複数の第1回折ビームと、複数の第2回折ビームとを含み、前記複数の第1回折ビームは、前記入射光ビームのパワーの90%以上のパワーを合計で有する最小の回折次数の複数の回折光ビームとして選択され、前記複数の第2回折ビームは、前記回折光ビームから前記複数の第1回折ビームを除いた全てとして選択され、前記複数の第1回折ビームは、90%以上の結合効率ηを提供するように選択され、前記結合効率ηは、下記の[数1]に等しく、 Piは、i番目の回折光ビームのパワーであり、 iは、前記回折光ビームの回折次数を表わす整数であり、前記回折次数1,2,...Nは、前記第1回折ビームに対応する、反射性回折光学部材。

IPC (1件)：

G02B 5/18

FI (1件)：

G02B5/18

Fターム (7件)：

2H249AA02 , 2H249AA03 , 2H249AA07 , 2H249AA13 , 2H249AA37 , 2H249AA53 , 2H249AA64

引用特許：

審査官引用 (7件)

光束分割素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-063755 出願人：旭光学工業株式会社
回折格子
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-003623 出願人：キヤノン株式会社
固体撮像素子カバーおよび撮像装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-217824 出願人：エプソントヨコム株式会社

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