光学モニタ及びそれを用いた真空蒸着装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：アイアット国際特許業務法人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-157691
公開番号（公開出願番号）：特開2014-019887
特許番号：特許第5927652号
出願日： 2012年07月13日
公開日（公表日）： 2014年02月03日
請求項（抜粋）：

【請求項1】蒸発源に対向配置される膜厚測定用の光学モニタであって、所定領域に前記蒸発源からの蒸着材料が堆積されるように設置されるモニタガラス、スリットを有し、前記所定領域を前記蒸発源に対して遮蔽及び露出させるチョッパ板、及び前記モニタガラスの前記所定領域の裏面に位置する測定領域に光を入射させるとともに反射光を受光し、該反射光の特性に基づいて膜厚を演算する測定部を備え、前記チョッパ板が、少なくとも前記所定領域に対応する部分において前記モニタガラスに対して傾斜されたテーパー部を有する光学モニタ。

IPC (2件)：