特許
J-GLOBAL ID：201603009795696766
熱電子発電素子の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
名古屋国際特許業務法人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-270512
公開番号（公開出願番号）：特開2014-116509
特許番号：特許第5983382号
出願日： 2012年12月11日
公開日（公表日）： 2014年06月26日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 熱源からの熱が加わるエミッタ電極(5)と、
該エミッタ電極(5)に対向して配置され、前記エミッタ電極(5)からの熱電子を捕獲するコレクタ電極(7)と、
を備え、前記エミッタ電極(5)と前記コレクタ電極(7)との間を移動する熱電子を利用して熱エネルギーを電気エネルギーに変換する熱電子発電素子(1)の製造方法において、
前記エミッタ電極(5)及び前記コレクタ電極(7)の少なくとも一方の電極を形成する工程として、
金属からなる基材(13、19)の上に、気相合成法によって、前記金属の炭化物からなるカーバイド層(15、21)を形成する第1工程と、
前記カーバイド層(15、21)の上に、気相合成法によって、ドナー不純物を添加したN型ダイヤモンド層(17、23)を形成する第2工程と、
前記N型ダイヤモンド層(17、23)の表面を水素で終端する第3工程と、
を有し、
前記カーバイド層(15、21)を形成した後に、前記N型ダイヤモンド層(17、23)を形成し、その後、水素雰囲気中で、前記基材(13、19)の温度を100°C以下まで冷却して、前記N型ダイヤモンド層(17、23)の表面を水素で終端することを特徴とする熱電子発電素子の製造方法。
IPC (4件)：
H01L 37/00 ( 200 6.01)
, H02N 3/00 ( 200 6.01)
, H02N 11/00 ( 200 6.01)
, H01J 45/00 ( 200 6.01)
H01L 37/00
, H02N 3/00 A
, H02N 11/00 A
, H01J 45/00
