特許
J-GLOBAL ID：201603009834873271
3つのゾーンからなるキャリアヘッドおよびフレキシブル膜
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (8件)：
辻居 幸一
, 熊倉 禎男
, 大塚 文昭
, 西島 孝喜
, 須田 洋之
, 上杉 浩
, 近藤 直樹
, 鈴木 信彦
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-545110
公開番号（公開出願番号）：特表2015-536575
出願日： 2013年11月21日
公開日（公表日）： 2015年12月21日
要約：
化学機械研磨器のキャリアヘッド用のフレキシブル膜は、主要部分と、環状外側部分と、3つの環状フラップとを含む。主要部分は、半径Rを有する基板取り付け表面を有する。環状外側部分は、主要部分の外縁部から上方へ延び、主要部分に接続された下縁部と、上縁部とを有する。3つの環状フラップは、Rの75%〜95%の径方向位置で主要部分の内面に接合された第1の環状フラップと、下縁部と上縁部との間の位置で環状外側部分に接合された第2の内方へ延びる環状フラップと、環状外側部分の上縁部に接合された第3の内方へ延びる環状フラップとを含む。
請求項（抜粋）：
化学機械研磨器のキャリアヘッド用のフレキシブル膜であって、
下面が基板取り付け表面を提供し、前記基板取り付け表面が半径Rを有する主要部分と、
前記主要部分の外縁部から上方へ延び、前記主要部分に接続された下縁部と上縁部とを有する環状外側部分と、
前記フレキシブル膜がキャリアヘッドに固定されたときに前記主要部分の上の容積を複数のチャンバに分割するちょうど3つの環状フラップとを備え、前記3つの環状フラップが、
Rの75%〜95%の径方向位置で前記主要部分の内面に接合された第1の環状フラップと、
前記下縁部と前記上縁部との間の位置で前記環状外側部分に接合され、前記外側環状部分から内方へ延びる第2の環状フラップと、
前記環状外側部分の前記上縁部に接合され、前記外側環状部分から内方へ延びる第3の環状フラップとを含む、フレキシブル膜。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/304 622G
, B24B37/04 N
3C158AB04
, 3C158CB01
, 3C158DA12
, 3C158DA17
, 3C158EA13
, 3C158EA14
, 3C158EA23
, 5F057AA02
, 5F057BA11
, 5F057CA11
, 5F057DA03
, 5F057EC24
, 5F057FA19
