シリコンインゴット固定用熱硬化性接着剤、それを用いたシリコンインゴット固定方法およびシリコンウエハの製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：河崎眞一 , 津村祐子
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-149564
公開番号（公開出願番号）：特開2014-009354
特許番号：特許第5899443号
出願日： 2012年07月03日
公開日（公表日）： 2014年01月20日
請求項（抜粋）：

【請求項1】比透磁率が200以上である磁性体フィラーと、熱硬化性樹脂とを含み、シリコンインゴットを、加工用保持具に接着するために使用される、シリコンインゴット固定用熱硬化性接着剤。

IPC (10件)：

C09J 201/00 ( 200 6.01) , H01L 21/304 ( 200 6.01) , B28D 7/04 ( 200 6.01) , C09J 11/04 ( 200 6.01) , C09J 163/00 ( 200 6.01) , C09J 161/06 ( 200 6.01) , C09J 161/24 ( 200 6.01) , C09J 161/28 ( 200 6.01) , C09J 175/04 ( 200 6.01) , C09J 5/06 ( 200 6.01)

FI (10件)：

C09J 201/00 , H01L 21/304 611 B , B28D 7/04 , C09J 11/04 , C09J 163/00 , C09J 161/06 , C09J 161/24 , C09J 161/28 , C09J 175/04 , C09J 5/06

引用特許：

出願人引用 (9件)

シリコンウェハ剥離方法、およびシリコンウェハ剥離装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2013-024209 出願人：パナソニック株式会社
特開昭61-141780
特開昭63-118391

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