特許
J-GLOBAL ID：201603010188755093
色収差補正装置及び色収差補正装置の制御方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
布施 行夫
, 大渕 美千栄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-038287
公開番号（公開出願番号）：特開2013-175329
特許番号：特許第5934517号
出願日： 2012年02月24日
公開日（公表日）： 2013年09月05日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 電子顕微鏡の電子光学系の色収差補正を行う色収差補正装置であって、
四極場を発生する第1及び第2の多極子レンズと、焦点距離fを有する第1及び第2の伝達レンズとを備え、
前記第1及び第2の多極子レンズが、前記第1及び第2の伝達レンズを挟んで配置され、
前記第1の多極子レンズと前記第1の伝達レンズ間の距離と、前記第1の伝達レンズと前記第2の伝達レンズ間の距離と、前記第2の伝達レンズと前記第2の多極子レンズ間の距離が、それぞれ、f-Δ1、2f、f-Δ2であり、且つ、f>Δ1+Δ2>0であり、
前記第1及び第2の多極子レンズの光軸方向の長さをZとし、前記第1及び第2の多極子レンズの励起強度をCとすると、Δ=Δ1+Δ2が、次式
で表される、色収差補正装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
前のページに戻る
