特許
J-GLOBAL ID:201603010447278312
接合部材および接合方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
籾井 孝文
, 吉田 昌靖
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-126824
公開番号(公開出願番号):特開2013-248660
特許番号:特許第5986808号
出願日: 2012年06月04日
公開日(公表日): 2013年12月12日
請求項(抜粋):
【請求項1】 金属層と、該金属層の両方の表面から突出している繊維状柱状構造体とを含み、
該金属層を構成する金属の融点が、100°C〜1500°Cであり、
該繊維状柱状構造体が、複数のカーボンナノチューブを備えるカーボンナノチューブ集合体であり、
該カーボンナノチューブ集合体の一部が、金属層中に埋没している、
接合部材。
IPC (5件):
B23K 35/14 ( 200 6.01)
, B23K 1/00 ( 200 6.01)
, H01L 21/52 ( 200 6.01)
, H01L 21/60 ( 200 6.01)
, B23K 101/40 ( 200 6.01)
FI (5件):
B23K 35/14 Z
, B23K 1/00 330 E
, H01L 21/52 B
, H01L 21/60 311 Q
, B23K 101:40
引用特許: