特許
J-GLOBAL ID：201603010527782747
挟持対象物の挟持装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石井 博樹
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-272465
公開番号（公開出願番号）：特開2014-120517
特許番号：特許第6014482号
出願日： 2012年12月13日
公開日（公表日）： 2014年06月30日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 互いに接離可能な第1の支持部材と第2の支持部材とを備え、両支持部材が接近することで挟持対象物を挟持する挟持装置であって、
前記第1の支持部材は、該第1の支持部材に回動支点を有して、前記第2の支持部材と対向する側に回動可能に取り付けられた第1の厚み吸収部材を備え、
前記第2の支持部材は、該第2の支持部材に回動支点を有して、前記第1の支持部材と対向する側に回動可能に取り付けられた第2の厚み吸収部材を備え、
前記第1の厚み吸収部材の自由端を対向する前記第2の支持部材に向かう方向へ弾性力により付勢する第1付勢部材と、
前記第2の厚み吸収部材の自由端を対向する前記第1の支持部材に向かう方向へ弾性力により付勢する第2付勢部材と、
を備え、
前記第1の厚み吸収部材及び前記第2の厚み吸収部材の各回動支点及び自由端が点対称に配置され、
前記第1の厚み吸収部材と前記第2の厚み吸収部材とは、前記挟持対象物を前記弾性力により押圧して挟持する、ことを特徴とする挟持装置。
IPC (2件)：
H01L 21/66 ( 200 6.01)
, H01L 21/683 ( 200 6.01)
H01L 21/66 B
, H01L 21/68 N
