特許
J-GLOBAL ID：201603010651826582
アニール方法、アニール治具およびアニール装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-531546
特許番号：特許第5972979号
出願日： 2013年07月12日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 成形工程において成形材料から成形された成形体をアニールするアニール方法であって、
前記成形体を加熱することにより、前記成形体の応力を解放する第1の工程と、
前記成形体に荷重をかけながら加熱することにより、前記成形体の反りを矯正する第2の工程とを有し、
前記第2の工程において、
前記成形体の温度が、前記成形材料の前記第1の工程の後におけるガラス転移点よりも20K低い温度から当該ガラス転移点よりも20K高い温度である間、
前記成形体の上面と前記成形体の下面との温度差を0.2K以下に抑制すること
を特徴とするアニール方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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