特許
J-GLOBAL ID：201603010731998481

試料観察方法、試料作製方法及び荷電粒子ビーム装置

発明者：
満 欣

満 欣 について

, 
上本 敦

上本 敦 について


出願人/特許権者：
株式会社日立ハイテクサイエンス

株式会社日立ハイテクサイエンス について


代理人 (7件)： 特許業務法人栄光特許事務所 ,  濱田 百合子 ,  橋本 公秀 ,  吉田 将明 ,  久原 健太郎 ,  内野 則彰 ,  木村 信行
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-064263
公開番号（公開出願番号）：特開2013-196972
特許番号：特許第5981744号
出願日： 2012年03月21日
公開日（公表日）： 2013年09月30日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 荷電粒子ビームを照射し、試料の観察面を観察する試料観察方法において、 前記荷電粒子ビームに対する第一の傾斜角度に試料台を設置し、前記観察面に前記荷電粒子ビームを照射し、前記観察面の第一の荷電粒子像を取得する工程と、 第一の試料台軸を中心に前記第一の傾斜角度と異なる第二の傾斜角度に前記試料台を傾斜させ、前記観察面に前記荷電粒子ビームを照射し、前記観察面の第二の荷電粒子像を取得する工程と、 前記第一の荷電粒子像と前記第二の荷電粒子像のうち、前記観察面の面積が大きい方の荷電粒子像を取得した傾斜角度に前記試料台を傾斜させる工程と、 前記観察面に前記荷電粒子ビームを照射し、前記観察面を観察する工程と、を有する試料観察方法。
IPC (4件)：
H01J 37/317 ( 200 6.01) ,  H01J 37/28 ( 200 6.01) ,  H01J 37/20 ( 200 6.01) ,  H01J 37/22 ( 200 6.01)
FI (5件)：
H01J 37/317 D ,  H01J 37/28 B ,  H01J 37/28 Z ,  H01J 37/20 A ,  H01J 37/22 502 H
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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