特許
J-GLOBAL ID:201603010891606458
ネオジム鉄ボロン系磁石の表面真空コーティング方法及び真空コーティング装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
日高 賢治
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2015-209944
公開番号(公開出願番号):特開2016-089271
出願日: 2015年10月26日
公開日(公表日): 2016年05月23日
要約:
【課題】主として小寸法のネオジム鉄ボロン系磁石の表面真空コーティング方法、及び当該方法実現するための装置を提供すること。【解決手段】脱脂酸洗浄後のネオジム鉄ボロン系磁石と金属球又は非金属球とをバレル内に投入し、炉ドアを閉じてバレル内を6〜9×10-3paまで真空排気し、バレルを5〜20回転/分の速度で回転させてネオジム鉄ボロン系磁石と金属球又は非金属球とを均一に混合し、バレル内を3〜6×10-3paまで真空排気し、バレル内にアルゴンガスを注入して真空度を3〜6×10-1paとした後、ターゲットを開き、コーティングを開始する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
ネオジム鉄ボロン系磁石表面の真空コーティング方法であって、
脱脂酸洗浄後の前記ネオジム鉄ボロン系磁石と金属球又は非金属球とをバレル内に投入し、
炉ドアを閉じて前記バレル内を6〜9×10-3paまで真空排気し、
前記バレルを5〜20回転/分の速度で回転させて前記ネオジム鉄ボロン系磁石と前記金属球又は非金属球とを均一に混合し、
前記バレル内を3〜6×10-3paまで真空排気し、
前記バレル内にアルゴンガスを注入して真空度を3〜6×10-1paとした後、ターゲットを開き、コーティングを開始する、
ことを特徴とするネオジム鉄ボロン系磁石表面の真空コーティング方法。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (16件):
4K029AA02
, 4K029AA21
, 4K029BA02
, 4K029BA03
, 4K029BA08
, 4K029BA17
, 4K029BA21
, 4K029BC01
, 4K029BC02
, 4K029CA03
, 4K029CA05
, 4K029CA17
, 4K029DC16
, 4K029DC39
, 4K029DD06
, 4K029FA04
引用特許: